फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को सही तापमान पर सुखाना बहुत ही महत्वपूर्ण है। यदि “सॉफ्ट बेक” या “हार्ड बेक” प्रक्रिया में 2°C का अंतर हो जाए, तो उत्पादन प्रक्रिया में गड़बड़ी हो जाती है। इसीलिए हमने फैब आईआर लैंपों के लिए ऐसे क्वार्ट्ज स्लीव बनाए हैं, ताकि तापमान स्थिर रहे।
क्यों यह लिथोग्राफी में महत्वपूर्ण है?
लिथोग्राफी में, तापमान ही वह कारक है जो वेफर की चौड़ाई, चिपकने की क्षमता एवं दोषों की संख्या को निर्धारित करता है। ये क्वार्ट्ज स्लीव, तापमान को स्थिर रखने में मदद करते हैं; इससे वेफर की सतह पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। इसके कारण हर फोटोरेजिस्ट परत को समान तापमान मिलता है। इनका डिज़ाइन ऐसा है कि इनके उपयोग से क्लीनरूम में भी कोई समस्या नहीं होती। इससे निरंतर उत्पादन संभव हो जाता है।
इंस्टॉलेशन संबंधी जानकारी
इन्हें इंस्टॉल करते समय लैंपों का सही एलाइनमेंट एवं कनेक्टरों का सही मैच आवश्यक है; अन्यथा गर्म स्थान बन जाते हैं, जिससे लैंपों का जीवनकाल कम हो जाता है। रीट्रोफिट करने से पहले चेम्बर की ज्यामिति एवं वोल्टेज रेटिंग की जाँच आवश्यक है। इन्हें साफ-सुथरे तरीके से ही हैंडल करना चाहिए, ताकि कोई माइक्रो-स्क्रैच न हो। नियमित निरीक्षण भी आवश्यक है, ताकि प्रतिरोधकता बनी रहे।