फैब फ्लोर पर, SRD चक्र के दौरान ही उत्पादन दर में अचानक गिरावट आ सकती है। यदि लैंप में थोड़ी भी खराबी हो जाए, तो इससे पानी के निशान बन जाते हैं, कणों की संख्या बढ़ जाती है, एवं अच्छी गुणवत्ता वाली सामग्री भी बर्बाद हो जाती है। हमने ऐसे ही समस्याओं को दूर करने हेतु SRD इन्फ्रारेड लैंप विकसित किया है।
ऑपरेशन के दौरान क्या महत्वपूर्ण है?
इस लैंप में क्वार्ट्ज ऑप्टिक्स के साथ शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटर होते हैं; ये ऊर्जा को सीधे धोने एवं सुखाने की प्रक्रिया में ही उपयोग में लाते हैं। चेम्बर में तापमान स्थिर रहता है – ±0.1°C के भीतर ही। इससे हर वेफर को समान तापीय वातावरण मिलता है। सेटपॉइंट में परिवर्तन 200 मिलीसेकंड से भी कम समय में हो जाता है; इससे बेहतर नियंत्रण संभव हो जाता है।
यह लैंप क्लास 1 से लेकर क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी उपयोग किया जा सकता है। इसका आवरण सील्ड होता है, एवं एमिटर की संरचना ऐसी है कि इससे कोई कण बाहर नहीं निकलते। इसका आउटपुट 5,000 घंटों तक स्थिर रहता है; तीव्रता में 5% से भी कम परिवर्तन होता है।
SRD में इसका उपयोग क्यों उपयोगी है?
SRD में, फोटोरेजिस्ट पर कोई दबाव न पड़े एवं पैटर्नों को कोई नुकसान न पहुँचे, ऐसी स्थिति में ही सुखाने की प्रक्रिया होनी चाहिए। इस लैंप के कारण चेम्बर का तापमान नियंत्रण में रहता है; इससे फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता बरकरार रहती है।
इसके परिणामस्वरूप, नियमित रूप से सुखाने की प्रक्रिया होती है, दोषों की संख्या कम हो जाती है, एवं पुनः कार्य करने की आवश्यकता भी कम हो जाती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि एमिटर जल्दी ही सेटपॉइंट तक पहुँच जाता है, इससे अतिरिक्त ऊष्मा चेम्बर में नहीं जाती। ऑपरेशन का समय भी बढ़ जाता है – क्योंकि यह लैंप 24/7 चल सकता है।
इसे कार्यक्षम बनाने वाले विवरण:
यह लैंप मानक SRD फॉर्मेट में ही फिट होता है; लेकिन इसका एकीकरण आपके उपकरणों की संरचना, हवा के प्रवाह, एवं चेम्बर की दीवारों की गुणवत्ता के अनुरूप होना आवश्यक है। माउंटिंग इंटरफेस एवं चिलर लूप पर लगने वाले तापीय भार की जाँच अवश्य करें; यदि ठंडक प्रणाली ठीक से काम न करे, तो तापमान में विचलन हो जाता है।
अपने वेफर स्टैक एवं लाइन की परिस्थितियों के अनुरूप इस लैंप को ठीक से सेट करने हेतु, थोड़ा समय देना आवश्यक है।