फैब्रिकेशन फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में 2°C का अंतर ही पूरी प्रक्रिया को बर्बाद करने के लिए पर्याप्त है। प्रमाणित इन्फ्रारेड क्यूरिंग लैंप, इस जोखिम को दूर करते हैं; वे ठीक उसी जगह पर आवश्यक ऊष्मा प्रदान करते हैं – जहाँ वेफरों को सुखाना, फोटोरेजिस्ट को नरम/कठोर बनाना, पैकेजिंग प्रक्रियाओं में आवश्यक ऊष्मा प्रदान करना, एवं सफाई/सुखाने की प्रक्रियाएँ आदि आवश्यक हैं। इन सभी प्रक्रियाओं में तापमान का नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है।
तकनीकी दृष्टि से, क्या महत्वपूर्ण है?
ये लैंप निकट-इन्फ्रारेड (NIR) स्रोतों पर काम करते हैं; इससे ऊष्मा तेजी से एवं समान रूप से प्रदान होती है, एवं स्पेक्ट्रम पर भी अच्छा नियंत्रण रहता है। इससे वेफरों पर तापमान का अंतर ±0.1°C के भीतर ही रहता है; ऐसे में वेफरों की गुणवत्ता बनी रहती है।
ये लैंप शुरू से ही क्लीनरूम क्लास 1–100 के लिए ही डिज़ाइन किए गए हैं – कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियाँ, सील्ड क्वार्ट्ज/हैलोजन घटक, एवं कणों को नियंत्रित करने हेतु विशेष व्यवस्थाएँ। शून्य कण उत्पन्न होना तो डिज़ाइन की ही आवश्यकता है। यह सिस्टम 24/7 काम करता है, एवं हजारों घंटों तक स्थिर रहता है; इससे अप्रत्याशित बंद होने की समस्याएँ नहीं होतीं।
व्यवहार में यह क्यों कारगर है?
लिथोग्राफी में, पहले फोटोरेजिस्ट को नरम तापमान पर गर्म किया जाता है, ताकि उसकी चिपचिपाहट एवं चिप से चिपकने की क्षमता नियंत्रित रहे; फिर उसे कठोर तापमान पर गर्म किया जाता है, ताकि उसमें मौजूद विलायक निकल जाए। पैकेजिंग में, अंडरफिल एवं एनकैप्सुलेंट को जल्दी ही ठीक किया जाना आवश्यक है, ताकि असेम्बली में कोई विकृति न हो। सफाई/सुखाने की प्रक्रियाओं में, अवशिष्ट नमी को तो बिल्कुल भी सहन नहीं किया जा सकता।
हमारे NIR लैंप, प्रक्रिया के समय को कम करते हैं, एवं ऊर्जा का उपयोग भी कम होता है। इससे प्रत्येक बैच में गुणवत्ता एक जैसी ही रहती है; इससे पुनर्कार्य एवं अपशिष्टों की समस्याएँ नहीं होतीं।
यहाँ कुछ ऐसी वास्तविकताएँ हैं, जिनका ध्यान रखना आवश्यक है…
NIR क्यूरिंग में, ऊर्जा का उपयोग केवल आवश्यक स्थानों पर ही होता है; इससे ऊर्जा की बचत होती है। सब्सट्रेट की ज्यामिति, परावर्तन क्षमता एवं अवशोषण क्षमता, ऊर्जा के उपयोग को प्रभावित करती हैं; इसलिए लैंपों की शक्ति एवं स्पेक्ट्रम को वेफरों की आवश्यकताओं के अनुसार ही निर्धारित किया जाता है।
जब सिस्टम ठीक से सेट हो जाता है, तो प्रक्रिया की सीमाएँ संकीर्ण हो जाती हैं… और यही तो इसका उद्देश्य है।