फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में कोई भी त्रुटि होना स्वीकार्य नहीं है। ±1.5°C का अंतर ही उत्पादन प्रक्रिया में गंभीर समस्याओं का कारण बन सकता है। लैम्प शील्ड, ऊर्जा स्रोत एवं वेफर के बीच स्थित होकर तापीय संतुलन बनाए रखता है; ऐसा न होने पर तापमान में विचलन हो जाता है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम फैब लैम्पों के लिए क्वार्ट्ज ग्लास शील्ड बनाते हैं… इसके निर्माण में तापमान संतुलन एवं कणों का नियंत्रण बहुत महत्वपूर्ण है। क्वार्ट्ज सामग्री, छोटी एवं मध्यम तरंगदैर्घ्य वाली इन्फ्रारेड किरणों को आसानी से पार जाने देती है… इससे तापमान, फोटोरेजिस्ट के अवशोषण वक्र के अनुरूप ही रहता है। वेफर की सतह पर तापमान संतुलन बनाए रखने हेतु आकृति को ऐसे ही डिज़ाइन किया जाता है… ताकि तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे।
क्लास 1–100 के क्लीनरूम में क्या होता है?
वहाँ सभी जोड़ों को सील किया जाता है, एवं सतहों को चिकना बनाया जाता है… ताकि बेकिंग प्रक्रिया के दौरान कोई कण न उत्पन्न हो। इससे हर बार समान परिणाम प्राप्त होते हैं।
उत्पादन में यह कैसे मदद करता है?
लिथोग्राफी, ट्रैकिंग एवं बेकिंग उपकरणों का उपयोग 24/7 किया जाता है… जब शील्ड तापीय संतुलन बनाए रखता है, तो CD में होने वाले विचलनों की समस्या दूर हो जाती है… प्रक्रिया की पुनरावृत्ति संभव हो जाती है, रीवर्क की आवश्यकता कम हो जाती है… एवं उत्पादन प्रक्रिया नियमित हो जाती है।
इंस्टॉलेशन के दौरान क्या ध्यान देना आवश्यक है?
छूट की मात्रा बहुत कम होती है… शील्ड को लैम्प की फोकल अक्ष एवं बेकिंग चैंबर की आकृति के अनुरूप ही लगाना आवश्यक है… 0.5 मिमी जितना भी विचलन हो, तो उससे समस्याएँ हो सकती हैं… अपने उपकरणों के अनुरूप ही आयाम एवं कनेक्टरों का चयन करें… एवं माउंटिंग हार्डवेयर की नियमित जाँच करें… ताकि तापीय संतुलन बना रहे।