氢气传感器制造用加热器

保持晶圆清洁：关于氢气传感器加热器的真相 在制造氢气传感器时，那些高强度的红外灯起着至关重要的作用。但问题在于：当这些灯被过度使用时，它们就有可能破裂。 一旦灯泡破裂，那就麻烦了。不仅会导致设备停机，还会让石英碎片和卤素气体溅到晶圆上。一旦发生这种情况，整批产品都无法再使用了。 热量与压力的平衡...