晶圆固化灯用反射器

在制造工厂中实现精确的控温效果 在固化晶圆的过程中，温度至关重要。不过，如何控制温度则是一个需要精确平衡的问题。如果热量分布不均，就会导致晶圆出现变形或形成不均匀的化学沉积物。为避免这种情况，我们采用高反射率的红外反射系统。实际上，这种系统的作用就是将能量重新反射回基板上。在现代智能制造工厂中，这...