法布化学柜加热器

在光刻工厂中，光阻烘烤的效果取决于一个关键因素：柜体内的温度。即使温度出现0.5°C的波动，也会影响光阻的性能。如果某个区域过冷，就会导致光阻无法正常工作，进而出现瑕疵。为此，我们专门设计了加热系统，以消除这种温度波动带来的问题。 内部结构的重要性 我们在石英隔离腔内使用中波红外发射器进行加热。这...