코팅기 개발용 적외선 히터

리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크나 하드 베이크 시에 온도가 0.5도만 변동해도 그건 사소한 오차가 아닙니다. 이는 생산 효율에 심각한 영향을 미칩니다. 포토레지스트의 프로파일이 변하고, 중요한 치수들도 변하게 됩니다. 그 결과, 선들이 제대로 그려지지 않고 왜곡...