왜 골드 코팅된 IR 램프가 스마트 팩토리에 필수적인지 현대식 “스마트” 팩토리를 구축할 때 가장 먼저 해야 할 일은 구식 난방 방식에 의존하지 않는 것입니다. 그런 방식으로는 더 이상 충분하지 않습니다. 그래서 우리는 골드 코팅된 적외선(IR) 램프를 사용합니다....

청정실이 파괴되는 것을 막는 방법: 적외선 램프에 대한 진실 반도체 공장에서 가연성 화학물질을 다룰 때는 실수할 여지가 전혀 없습니다. 아주 작은 전기 스파크나 램프의 온도가 너무 높아지면 재앙이 일어날 수 있습니다. 그래서 우리는 이러한 구역에서 적외선 난방 장치를...

왜 반도체 처리 과정에서 강제 공기 순환 방식을 IR 방식으로 바꾸는가? 만약 이전 세대의 청정실에서 작업해본 적이 있다면, 그 방식이 어떤 것인지 잘 알 것입니다. 오래된 방식의 카트를 사용하여 뜨거운 공기를 불어넣어 웨이퍼의 온도를 유지합니다. 문제는 속도가 너무...

에너지를 절약하는 반도체 히팅 장치: 정밀성을 원하는 엔지니어들을 위한 최고의 선택 산업 현장에서는 추측할 여지가 없습니다. 가동 시간이 가장 중요하며, 안전은 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 준수해야 할 규칙입니다. 바로 이러한 이유로 우리는 에너지를 절약할 수...

바닥에서, 그 온도 곡선은 단순한 가이드라인이 아니다. 그것이 바로 공정이다. 소프트 베이크에서 미세한 편차만 있어도 포토레지스트의 거동이 달라진다—CD 제어가 흔들리고, 사이드월 프로파일이 틀어지며, 수율도 함께 떨어진다. 웨이퍼 전체에 균일하지 않은 하드 베이크는...