웨이퍼 캐리어 세척 건조기

공정 현장에서 웨이퍼 캐리어가 세척 욕조에서 나오면 건조 과정에서 문제가 발생하는 것을 확인하게 된다. 경험상 알다시피 잔류 수분, 열 스트레스, 그리고 수율과 포토레지스트 결함을 직접적으로 유발하는 공기 중 입자들이 문제다. 열 균일성은 절대로 간과할 수 없는 요소...