반도체 청정실용 카트형 히터

왜 반도체 처리 과정에서 강제 공기 순환 방식을 IR 방식으로 바꾸는가? 만약 이전 세대의 청정실에서 작업해본 적이 있다면, 그 방식이 어떤 것인지 잘 알 것입니다. 오래된 방식의 카트를 사용하여 뜨거운 공기를 불어넣어 웨이퍼의 온도를 유지합니다. 문제는 속도가 너무...