기계의 케이스를 히터로 사용하는 것을 그만두세요.
반도체 장비를 열어보면, 얼굴에 뜨거운 열기가 닿는 것을 느낄 수 있습니다.
이것이 바로 일반적인 적외선 히터의 문제점입니다. 이러한 히터들은 에너지를 360도로 방출하기 때문에, 좁은 공간에서는 큰 문제가 됩니다. 기계의 내부 벽면이 너무 뜨거워져 사람이 다칠 수도 있지만, 실제로 가열해야 할 웨이퍼는 충분한 열을 받지 못합니다.
이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라 안전상의 위험도 있습니다.
우리는 탄소섬유 적외선 램프를 사용하여 이 문제를 해결합니다.
열을 정확한 위치에 전달하기
탄소섬유 필라멘트의 장점은 열을 집중시킬 수 있다는 점입니다.
일반적인 석영 히터는 열을 사방으로 퍼뜨리지만, 탄소섬유 램프는 열을 특정 방향으로만 방출합니다. 따라서 에너지는 작업물에만 집중되고, 기계의 프레임에는 열이 가지 않습니다.
그러므로 공기나 기계의 외부를 가열할 필요가 없습니다. 당연한 일이죠.
더 나은 안전성과 더 작은 크기
이 램프를 설치하면 즉시 차이를 느낄 수 있습니다. 열 밀도가 훨씬 높아집니다.
그 덕분에 히터의 크기를 줄일 수 있습니다. 또한 램프가 기계의 나머지 부분에 열을 전달하지 않으므로, 냉각 팬도 계속해서 최대 속도로 작동할 필요가 없습니다. 기계의 내부 벽면도 시원하게 유지됩니다. 이는 모든 사람에게 이점입니다.
단점 (항상 있기 마련입니다)
물론, 이 램프를 아무 기계에나 사용할 수는 없습니다.
방향성이 있는 램프는 정확한 설치가 필요합니다. 장착 브래킷이 몇 밀리미터만 어긋나도 목표 지점을 맞추지 못할 수 있습니다.
또한, 전원 공급장치가 탄소섬유 램프의 특수한 작동 방식을 감당할 수 있는지 확인해야 합니다. 할로겐 램프와는 반응 방식이 다르므로, 스위치를 켜기 전에 꼭 스펙을 확인해야 합니다.
하지만 일단 설정이 완료되면, 기판의 온도 상승 속도가 빨라지고, 기계도 더 이상 거대한 라디에이터처럼 작동하지 않습니다.