Op de productielijn is een verschil van 2°C tijdens het verhitten van de fotoresist al voldoende om veel werk te verpesten. Gecertificeerde infrarode droogingslampen elimineren dit risico: ze zorgen voor een consistente warmteafgifte precies waar dat nodig is. Het drogen van de wafer, het zacht en hard verhitten van de fotoresist, het drogen van het materiaal dat wordt gebruikt voor verpakkingen, en het reinigen van de onderdelen – al deze processen vereisen een nauwkeurige controle op de temperatuur.
Wat technisch gezien belangrijk is:
Deze lampen maken gebruik van near-infraroodlichtbronnen. Hierdoor wordt de verwarming snel en efficiënt uitgevoerd, met nauwkeurige controle over het spectrum. Hierdoor blijft de temperatuur over de hele oppervlakte van de wafer binnen een marge van ±0,1°C. Dit zorgt voor betere controle over de kwaliteit van het product en voorkomt dat de productie minder goed wordt.
Deze lampen zijn vanaf het begin ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100: ze bestaan uit materialen die weinig gassen afgeven, zijn gemaakt van verzegelde kwarts- of halogeencomponenten, en hebben systemen om deeltjes tegen te houden. Er mag geen enkel deeltje vrijkomen – dat is zelfs een vereiste in het ontwerp. Het systeem kan 24/7 draaien, met een hoge betrouwbaarheid. De output blijft stabiel, zodat er geen onverwachte stilstand optreedt.
Waarom dit in de praktijk werkt:
Bij lithografie is het belangrijk om eerst een zachte verhitting toe te passen, zodat de viscositeit en hechting van de fotoresist goed worden geregeld. Daarna moet er een harde verhitting worden toegepast, zodat de oplosmiddelen kunnen worden verwijderd, zonder dat de fotoresist beschadigt raakt. Bij verpakkingsprocessen moet het materiaal dat wordt gebruikt voor verpakkingen snel drogen, zonder dat het product vervormt. En bij het reinigen en drogen mag er geen overtollig vocht achterblijven.
Onze NIR-lampen verkorten de tijd die nodig is voor het proces, terwijl ze ervoor zorgen dat alles binnen de vereiste temperatuurbereiken blijft. De energieverbruik neemt af, omdat de warmte alleen op demand wordt gegenereerd. Bovendien blijft de reproduceerbaarheid hoog, zodat er minder herwerking en afval ontstaat.
Realisaties waar je rekening mee moet houden:
NIR-droging vereist dat het licht rechtstreeks op het materiaal valt. De geometrie van het substraat, de reflectie en absorptie van het materiaal bepalen hoeveel energie wordt geabsorbeerd. Daarom moet de kracht van de lamp worden aangepast aan het type materiaal dat wordt gebruikt. Er zal ook meer ruimte nodig zijn vergeleken met conventionele warmtebronnen. Verder moet er rekening worden gehouden met de elektrische en thermische eisen van de schone ruimte.
Zodra het systeem is afgesteld, is het procesbereik zeer klein – en dat is precies wat er nodig is.