Op de productieafdeling hangt de kwaliteit van het fotorezistentverwerkingproces af van één ding: de temperatuur in de kast. Een verschil van 0,5°C kan al leiden tot problemen. Een koude plek kan het fotorezistent beschadigen, waardoor er ongewenste effecten optreden. We hebben speciale verwarmers ontworpen om deze variabiliteit te verminderen.
Wat belangrijk is onder het oppervlak We gebruiken middengolflange infraroodstralers in een kwartsgeïsoleerde kamer. Het gaat om stralingswarmte, waardoor de warmte snel wordt overgedragen met minimale thermische massa. De temperatuur blijft binnen ±0,1°C constant, en de herhalbaarheid ligt op ±0,05°C per batch. De regeling vindt plaats met een PID-regelaar met 24-bit resolutie, waarbij gebruik wordt gemaakt van sensoren die nauwkeurig zijn gekalibreerd.
Alle onderdelen die in contact komen met vloeistoffen zijn gemaakt van 316L-staal, en alle sluitingen zijn bestand tegen zuren en oplosmiddelen. De verwarmers zijn geschikt voor gebruik in schone ruimtes volgens ISO-klasse 1–100. De vorming van deeltjes wordt verminderd door een laminaire stroming en HEPA-filtering. De vermogensdichtheid is aangepast aan het volume van de kast; er zijn mogelijkheden voor spanningen van 120 V tot 480 V. Er worden CE-conforme connectoren gebruikt, en er is bescherming tegen lekkage van grondstroom.
Waarom dit werkt in de litografie De kast houdt de precieze temperatuur vast die nodig is voor het verwerken van het fotorezistent. Er zijn geen hete plekken die kunnen leiden tot problemen, en er zijn ook geen koude zones die zuren kunnen vasthouden. Hierdoor krijg je een consistente filmdikte, minder herwerkingswerkzaamheden en een stabiele controle over de CD-dimensies.
De energieverbruik neemt af, want de stralers verwarmen zich alleen wanneer dat nodig is. De energieverliezen in rusttoestand zijn minder dan 1%. De kast is ontworpen voor 24/7 gebruik, met een MTBF van meer dan 50.000 uur. Toegang tot de componenten gebeurt via het frontpaneel, zodat de stilstand minimaal blijft.
Praktische details De verwarmers hebben een aparte, gestabiliseerde voedingslijn nodig. Als je agressieve chemicaliën gebruikt, moet je de kast eerst zuiveren met droog stikstof – anders kan er condensatie ontstaan. Zorg ervoor dat de afmetingen van de kast en de sluitingen passen bij de behoeften. Plan tijdens de installatie ook een thermische meting in, zodat de regelpunten kunnen worden vastgesteld en de uniformiteit van de temperatuur kan worden gecontroleerd.