Op de productievloer is het verhitten van de photoresist een proces waarbij rekening moet worden gehouden met bepaalde thermische eisen. Een verschil van 2°C tijdens het zachte of harde verhitten kan ertoe leiden dat de cruciale afmetingen veranderen. Op dat moment komt de productie tot stilstand. We hebben deze kwartsmantel ontworpen om de thermische condities stabiel te houden, zodat dit proces keer op keer kan worden uitgevoerd.
Wat belangrijk is onder de motorkap
De mantel is gemaakt voor het doorlaten van kortegolflengte-IR-straling. Hierdoor reageert hij snel en kan hij de temperatuur nauwkeurig regelen. Hij zorgt er ook voor dat de temperatuur over het hele oppervlak van de wafer binnen ±0,1°C blijft. Dit betekent dat elke laag photoresist dezelfde temperatuur heeft. De compatibiliteit met schone ruimtes is ook in het ontwerp opgenomen: het materiaal en de afwerking voorkomen het ontstaan van deeltjes, zodat u in een Class 1–100 omgeving kunt werken zonder dat de productie wordt onderbroken. U krijgt dus reproduceerbare resultaten, consistente reflectiviteit en een stabiele prestatie die duizenden uren lang standhoudt.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie
Bij lithografie bepaalt de temperatuur de dikte van de lijnen, de hechting en de concentratie defecten. Deze mantel helpt om de temperatuur stabiel te houden, waardoor er minder afval ontstaat en de tijd die nodig is voor het kalibreren van het apparaat wordt verkort. U gebruikt minder energie, omdat het systeem snel de gewenste temperatuur bereikt en deze met minimale schommelingen behoudt. De betrouwbaarheid van het apparaat maakt het mogelijk om het 24/7 te gebruiken, waardoor er minder lampen hoeven te worden vervangen en er minder storingen optreden. U kunt ook beter plannen wanneer u onderhoud uitvoert.
Wat u moet onthouden
Voor een correcte installatie is het belangrijk dat de lampen perfect zijn gealigneerd en dat er de juiste connectoren worden gebruikt. Anders kunnen er ‘hot spots’ ontstaan, waardoor de levensduur van de lampen wordt verkort. Controleer eerst de geometrie van de kamer en de spanning die nodig is. Hanteer de mantel volgens de juiste procedures, zodat er geen micro-schade ontstaat die de transmissie van licht kan beïnvloeden. Plan regelmatige inspecties in, zodat u preventief onderhoud kunt uitvoeren.