Op de lithografieafdeling is een verschil van een halve graad Celsius tijdens het proces van zachte of harde baking geen klein verschil – het leidt juist tot verminderde productiekwaliteit. De profielen van de fotorezistent veranderen, de cruciale dimensies worden groter, en het proces kan de afwijkingen niet meer compenseren. In de units voor het aanbrengen en weghalen van de fotorezistent is de thermische behandeling cruciaal voor de herhalbaarheid van het proces.
Precisie van infraroodverwarming: sub-millimeternauwkeurigheid en herhalbaarheid We hebben de infraroodverwarmers voor het aanbrengen en weghalen van de fotorezistent ontworpen met behulp van een korte golflengte-technologie, zodat de warmte op een gelijkmatige manier wordt verspreid. Hierdoor is er een thermisch veld met sub-millimeternauwkeurigheid over het oppervlak van de chip, waardoor de temperatuur op het niveau van de chip nauwkeurig kan worden geregeld. Herhalbaarheid wordt bereikt door gebruik te maken van een gesloten feedbacklus en stabiele emissiviteitscontrole. Op deze manier blijft de temperatuur elke keer hetzelfde, batch na batch, shift na shift. Het gaat hier niet om het bereiken van een maximale temperatuur, maar om het beheersen van het hele thermische proces.
Waarom dit past bij het半導体productieproces In een schoonruimte van klasse 1–100 heeft de productie van deeltjes net zo veel invloed op de kwaliteit als temperaturen. We hebben heaters gekozen die het aantal deeltjes beperken, zodat er geen vervuiling van de chip optreedt. Het systeem zorgt voor nauwkeurige temperatuurregeling tijdens het proces van zachte en harde baking, waardoor de viscositeit, het verwijderen van oplosmiddelen en de hechting van de fotorezistent stabiel blijven. Deze stabiliteit verkort de tijd die nodig is voor kalibratie en vermindert de hoeveelheid afval.
De energieverbruik neemt af, omdat infraroodstraling rechtstreeks warmte overdraagt. De opwarmtijd is kort, en er is weinig thermische massa die moet worden beheerst. De betrouwbaarheid van het systeem is hoog, zodat het 24/7 kan werken, met minder onderhoud en voorspelbare vervangingsintervallen.
Praktische implementatie tips De installatie is eenvoudig op de meeste platforms voor het aanbrengen en weghalen van de fotorezistent. Echter, de thermische verbindingen zijn belangrijk. Zorg ervoor dat de heater goed is geïnstalleerd op het bestaande oppervlak en controleer de emissiviteit van het contactoppervlak. Anders kan de temperatuur afwijken van het gewenste niveau. Plan voor een korte testperiode om de PID-kontrol in te stellen en de nauwkeurigheid van het systeem te controleren.
Eén beperking: de intensiteit van de infraroodstraling moet worden aangepast aan de thermische massa van het substraat. Zeer dunne lagen of speciale substraten kunnen eerder een aangepaste stroomsterkte nodig hebben om overtollige warmte te voorkomen.