清潔を保つこと：スマートセンサーを効果的に加熱するための秘訣
クラス100のクリーンルームで作業を行う際、「十分に清潔であればいい」というわけにはいきません。わずかなほこりや微粒子があるだけで、大量のセンサーがダメになってしまいます。これは本当に悩ましい問題です。
そのため、私たちは単純に高い出力を使うだけではありません。赤外線ランプには高純度の合成石英を使用しています。なぜでしょうか？それは、ガスや微粒子が発生する前にそれを防げるからです。
高純度石英の利点
通常の石英でもほとんどの場合は問題ありませんが、強い熱ストレスがかかると破壊されてしまいます。つまり、石英から微粒子が放出されてしまうのです。これでは、生産ラインを常に清潔に保つのは難しいでしょう。
私たちは、極端な高温下でも安定して機能する特殊な石英を使用しています。このおかげで、加熱要素が汚染源になる心配はありません。
熱と汚れの対処法
重要なのは材料だけでなく、表面の処理も重要です。チューブを磨いて、多孔質にならないようにします。表面が滑らかであれば、空気中の汚れが付着しません。そうすれば、ウェーハに汚れが付着する心配もありません。
また、これらの装置は短波長の赤外線を利用しています。これは大きな利点です。短波長のエネルギーは包装材の奥深くまで届きやすいからです。部品が加熱ゾーンにいる時間が短くなるため、周囲の環境が劣化する可能性も大幅に減ります。これにより、より迅速かつ安全に作業ができます。
設置時の注意点
ただ、こんな装置を適当な場所に設置してはいけません。高純度石英は、一般的な工業用ガラスよりももろいのです。金属が直接ガラスに当たると、亀裂が入ってしまいます。そのため、PTFEや高耐熱性のシリコン製の緩衝材を使用することをお勧めします。少しの緩衝材でも大きな効果があります。
また、熱についても注意が必要です。これらのランプは非常に強力なので、不注意に扱うと、ケーブルが焼けたり、センサーのハウジングが過熱したりする可能性があります。必ずシールドをしっかりと行い、冷却ファンが正常に機能しているか確認してください。勤務中に温度が急上昇してクリーンルームの警報が鳴るのは避けたいですよね。それは誰もが避けたい問題です。