もう、マシンの筐体をエアヒーターのように使うのはやめましょう。
半導体装置を開けてみると、顔に熱が直撃してくることがありますよね？
それが、従来の赤外線ヒーターの問題点です。これらのヒーターは、360度全方位に熱を放出します。狭い筐体内では、これは大変な問題です。機械の内壁が非常に高温になり、人が火傷する可能性がありますが、実際に加熱したいウェーハには十分な熱が届きません。
これはエネルギーの無駄遣いであり、安全性の観点からも問題があります。
私たちは、カーボンファイバー製の赤外線ランプを使用して、この問題を解決しています。
熱を適切な場所に集中させる
カーボンファイバーフィラメントの利点は、熱を集中させることができる点です。
従来の石英ヒーターは、熱をあちこちに散らしてしまいます。しかし、このランプは方向性を持って熱を放出します。赤外線エネルギーを直接対象物に向けて照射できます。そのため、空気や機械の筐体を加熱する必要がなくなります。
安全性が向上し、サイズも小さくなる
実際にこれらのランプを取り付けると、すぐに違いがわかります。焦点部分の熱密度がずっと高くなります。そのため、ヒーターのサイズを小さくできます。また、ランプが筐体の他の部分に熱を放出しないため、冷却ファンも常時フル回転する必要がありません。内壁も触っても冷たくなります。これは全員にとってメリットです。
注意点（必ずあるものです）
ただし、どんな装置にでも簡単に取り付けて使えるわけではありません。
方向性のあるランプは、正確な位置合わせが必要です。取り付けブラケットが数ミリでもずれていると、目的の場所に熱が当たりません。
また、電源がカーボンファイバーの特性に対応できるかも確認する必要があります。ハロゲン管とは反応が異なるため、スイッチを入れる前に仕様を確認してください。
しかし、正しく設定すれば、基板の加熱速度が上がり、マシンが巨大なラジエーターのように振る舞うことはなくなります。