涂布机显影用红外加热器

在光刻工序中，软烘或硬烘过程中的半摄氏度左右的温度偏差其实并非小问题——这会导致成品率下降。光阻层的厚度会发生变化，关键尺寸也会出现偏差，从而使得线条无法保持稳定的形状。在涂覆/显影过程中，热处理环节的稳定性直接决定了整个流程的可靠性。 红外加热的精确度：亚毫米级的一致性与重复性 我们设计的涂覆/...