Üretim alanında, SRD döngüsünde verimlilik anında düşebilir. Hafifçe bozulmuş bir lamba bile su izleri bırakabilir, parçacık sayısını artırabilir ve kaliteli malzemeleri atık haline getirebilir. Biz ise bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için özel bir kızılötesi lamba geliştirdik.
Önemli olan detaylar Bu lamba, kuvars optikleri kullanarak kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınları yayar ve enerjiyi doğrudan yıkama ve kurutma aşamalarına aktarır. Odadaki termal düzenlilik ±0,1°C arasında kalır; böylece her wafer aynı termal koşulları elde eder. Ayar noktalarındaki değişiklikler 200 ms’den daha kısa sürede gerçekleşir ve böylece aşırı kontrollerden kaçınılmış olur.
Bu lamba, 1. sınıftan 100. sınıfa kadar olan tüm temiz oda koşullarına uygundur. Kasa kapalıdır ve ışın yayma yolu şekli, parçacık üretilmemesini sağlayacak şekilde tasarlanmıştır. Çıkış gücü 5.000 saatten fazla süre boyunca stabil kalır ve yoğunluk değişimi %5’in altındadır.
Neden SRD’de işe yarar? SRD’de amaç, fotoresistlere zarar vermeden tutarlı bir kurutma işlemi gerçekleştirmektir. Lambanın hızlı tepki vermesi sayesinde sıcaklık profili belirlenen değerler içinde kalır; böylece yumuşak ve sert pişirme işlemlerinden sonra bile fotoresistlerin bütünlüğü korunur.
Böylece tekrarlanabilir bir kurutma işlemi elde edilir, kusur oranı azalır ve yeniden işleme gereksinimleri düşer. Güç tüketimi de azalır; çünkü ışınlar hızla ayarlanan değerlere ulaşır ve orada kalır. Böylece işlem odasına gereksiz ısı aktarımı olmaz. Ayrıca cihazın çalışma süresi de artar; çünkü sürücü 24/7 çalışmak üzere tasarlanmıştır ve lamba bileşenleri uzun ömürlü olacak şekilde üretilmiştir.
İşlevsel olmasını sağlayan detaylar Lamba, standart SRD montaj alanlarına uyar; ancak entegrasyon, kullanılan ekipmanın geometrisi, hava akışı ve odanın duvarlarının ısıl özelliklerine göre ayarlanmalıdır. Montaj arayüzünü ve soğutma sisteminin termal yükünü mutlaka kontrol edin; soğutma düzgün olmazsa termal düzenlilik bozulur.
Reçeteyi waferlerin ve üretim koşullarına uygun hale getirmek için kısa bir test süreci gereklidir.