İşlem sırasında, temizleme işleminden sonra bile her şey doğru şekilde yapılabilir; ancak eğer wafer eşit olmayan şekilde kurursa veya fırınlama işlemi düzgün yapılmazsa verim düşebilir. Sıcaklık düzensizlikleri, su lekeleri, yüzeyde kabuklanmalar ve kenarlarda damlalar şeklinde kendini gösterir. Bu tür sorunları ortadan kaldırmak için, wafer yüzeyinde, tam da gereken yerde tekrarlanabilir bir ısı kontrolü sağlayan kızılötesi ısıtıcılar kullanıyoruz.
Teknik açıdan önemli olanlar
Hızlı tepki süresine ve hassas spektral kontrolüne sahip kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar kullanıyoruz. Bu sayede 150–300 mm boyutundaki waferlerde sıcaklık değerleri ±0,1°C aralığında sabit kalır. Sıcaklığın tekrarlanabilirliği ise atıştan atışa ±0,2°C civarındadır. Bu sayede, sıcaklık değişikliklerine duyarlı olan işlemler – yumuşak fırınlama, sert fırınlama ve temizleme sonrası kurutma – istenen sıcaklık aralığında gerçekleşir. Bu platform, çalışma sırasında parçacık üretmeyen, Cleanroom Class 1–100 standartlarına uygun bir tasarıma sahiptir.
Pratikte nasıl işe yarıyor?
Temizleme sonrasında kızılötesi ışınlar, waferin mikro yapılarına nüfuz ederek nemleri uzaklaştırır ve böylece hızlı ve kusursuz bir kurutma sağlanır. Litografi işlemlerinde ise aynı platform, yumuşak fırınlama sıcaklığını stabil hale getirerek tekrarlanabilir bir çözücü giderme işlemi sağlar. Daha sonra sert fırınlama işlemiyle katmanların sağlamlaştırılması mümkün olur. Hızlı ısı artışı sayesinde işlem süresi kısalar ve daha az atık oluşur. Ayrıca enerji kullanımı da makul seviyededir; çünkü ısıtma wafer üzerinde gerçekleşir, odanın kendisi değil.
Kurulum sırasında dikkat edilmesi gerekenler
Cleanroom’un basıncının ve sıcaklığının sabit kalması için araç arayüzünün ve havalandırma sisteminin doğru şekilde ayarlanması gerekmektedir. Isıtıcılar standart SECS/GEM protokollerini kullanır; ancak eski platformlara entegre edilecekse özel braketler ve kalibrasyon prosedürleri gerekebilir. Emisyon değerlerini belirlemek ve belirli film yapılarının homojenliğini kontrol etmek için kısa bir test yapılmalıdır.