Litografide, yumuşak pişirme sıcaklığındaki küçük değişiklikler, CD-SEM cihazları sorun çıkarmaya başlayana kadar fark edilmeyen, verimliliği düşüren faktörlerdir. Wafer üzerindeki sıcaklık farkı 0,5°C civarında olursa, kritik boyut kontrolü bozulur. Bu sorunu kökten çözmek için kendi infrakızıl ışık lambalarımızı geliştirdik.
Arka planda önemli olanlar Hızlı tepki veren kuvars elemanlara sahip kısa dalga boylu infrakızıl ışık kaynakları kullanıyoruz; böylece ısıtma işlemi hızlı ve lokal olarak gerçekleşir. Termal gecikme ise minimum seviyededir. Fotoresistin yumuşak pişirilmesi sırasında, işlem bölgesindeki sıcaklık sabitlenerek ±0,1°C aralığında tutulur; parti başına tekrarlanabilirlik ise ±0,5°C aralığında kalır.
Çıktı, fotoresistin termal ihtiyaçlarına göre ayarlanır; ne aşırı ısıtma ne de yetersiz ısıtma olur. Ayrıca parçacık üretimi de sıfıra indirilir. Lamba başlığı, Class 1–100 temiz oda standartlarına uygundur ve termal profili uluslararası yarı iletken ekipman standartlarına göre doğrulanmıştır. Bu sistem, fabrikalarda zaten kanıtlanmış bir çözümdür.
Üretimde neden önemli? Stabil kritik boyut kontrolü sayesinde daha az yeniden işlem gerekiyor. Hızlı termal ayarlama sayesinde pişirme süreci kısalarak verimlilik artar. Enerji tüketimi de düşer; çünkü ısı sadece gerekli olan yerlere yönlendirilir, odanın duvarlarını ısıtmak için harcanmaz.
Güvenilirlik ise doğrudan sağlanır. Cihazlar 5.000 saatten fazla çalışır ve verimlilikte %5’den az düşüş olur. Böylece üretim süreci kesintisiz devam eder ve plansız müdahaleler en aza indirilir.
Pratik detaylar Montaj işlemi, lambanın boyutlarının ve arayüzünün mevcut sistemlerle uyumlu hale getirilmesinden ibarettir. Biraz mekanik ve elektriksel entegrasyon gerekebilir; ancak bu çok büyük bir mesele değildir. Kurulum süreci ise kısa sürer ve termal ayarlar fotoresist ve substrat katmanlarına göre yapılır. Kalibrasyon tamamlandıktan sonra, işlem parametreleri sabit kalır.