جلوگیری از گرم شدن بیش از حد دیوارههای دستگاه
اکثر عناصر گرمایشی مانند لامپها هستند؛ یعنی گرما را در تمام جهات تولید میکنند. در کارخانههای تولید نیمههادی، این موضوع واقعاً یک مشکل بزرگ است. وقتی که انرژی لامپها به دیوارههای داخلی دستگاه منتقل میشود، دیوارهها شروع به گرم شدن میکنند.
مسئله فقط این نیست که فردی دچار سوختگی شود؛ چنین گرمایی باعث اختلال در پایداری حرارتی ویفرها میشود. این واقعاً یک مشکل جدی است.
راهحل: استفاده از امواج مادون قرمز در جهت مشخص
راه حل این است که از امواج مادون قرمز در جهت مشخص استفاده کنیم. به جای استفاده از لولههای کوارتز ساده، از بازتابندهها و پوششهای ویژه برای هدایت گرما به سمت مورد نظر استفاده میکنیم.
میتوان آن را مانند یک چراغ قوه در نظر گرفت؛ یعنی انرژی را مستقیماً روی سطح مورد نظر متمرکز میکنیم. در این صورت، هدررفت انرژی خواهد بود. گرما فقط به هدف مورد نظر میرسد و دیوارهها سرد باقی میمانند. خیلی ساده است.
گرمای بهتر، فشار کمتر
از آنجایی که گرما در جهت مشخصی هدایت میشود، میتوانید دمای قطعات کاری را افزایش دهید، بدون اینکه داخل دستگاه به یک فر تبدیل شود.
شیب حرارتی نیز بهتر خواهد بود. و بهترین بخش این است که نیازی نیست برای جلوگیری از خطرات ایمنی، فنهای خنککننده یا سیستمهای خنککننده پیچیدهای طراحی کنید.
واقعیت
البته این روش جادویی نیست. از آنجایی که تمام انرژی در یک جهت متمرکز میشود، سطح لامپ نیز گرمتر از لولههای معمولی خواهد شد. بنابراین باید مطمئن شوید که سیمها و قطعات مربوطه بتوانند این گرما را تحمل کنند.
همچنین، تنظیم صحیح بازتابندهها بسیار مهم است؛ اگر بازتابندهها حتی چند درجه انحراف داشته باشند، نقاط گرم شدن نیز تغییر خواهد کرد. در نتیجه، گرمایش در سطح ویفر ناهموار خواهد بود.
توصیه من این است که هر سه ماه یکبار تنظیم بازتابندهها را بررسی کنید. اگر لامپ انحراف داشته باشد، در واقع یک ابزار دقیق به یک دستگاه گرمایشی گرانقیمت تبدیل خواهد شد. همچنین، باید از تمیز بودن عناصر نوری مطمئن شوید؛ اگر کثیف باشند، پرتو نور نیز منحرف خواهد شد.