در یک کارخانه با حجم بالا، دماي ويفر یک “متغیر” نیست که بتوانید به راحتی آن را تنظیم کنید—این یک قسمت ثابت از معادله بهرهوری است. انحراف نیم درجهای در حین پردازش فتو رزین یا خشک کردن ویفر میتواند بعداً به عنوان عدم یکنواختی ضخامت و نقصهای الگو نمایان شود و شما تنها در آزمون الکتریکی آن را مشاهده خواهید کرد، زمانی که دورریز قبلاً هزینهبر است. ما بخاریهای مادون قرمز خود را برای حذف این تغییرات در سطح فرآیند طراحی کردیم.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد
سیستمهای مادون قرمز کوتاهموج ما یکنواختی حرارتی در سطح ویفر را در ±0.1°C در سرتاسر چاک حفظ میکنند و در کمتر از ۲ ثانیه بر روی یک نقطه تنظیم جدید مستقر میشوند. عناصر بخاری از نوع کوارتز-هالوژن هستند، با کنترل طیفی دقیق، بنابراین انرژی مستقیماً به فتو رزین و زیرلایه منتقل میشود بدون اینکه سختافزار اطراف را تحت تأثیر قرار دهد. کنترل به صورت حلقه بسته است و سنسورها به طور مستقیم به دستورالعمل فرآیند کالیبره و نقشهبرداری شدهاند—پخت نرم، پخت سخت و درمان—بنابراین تکرارپذیری دما قابل ردیابی از دستهای به دسته دیگر است. این سختافزار برای اتاقهای تمیز آماده است، با سطوحی که با محیطهای کلاس ۱–۱۰۰ سازگار هستند و تولید ذرات در حین عملکرد پایدار در صفر باقی میماند.
چرا در تولید پایدار است
در سلولهای لیتوگرافی، پخت نرم جایی است که ویسکوزیته فتو رزین تنظیم میشود و حلال خارج میشود. انرژی ناکافی منجر به ایجاد لبههای اضافی میشود؛ انرژی بیش از حد نیز کنترل ابعاد بحرانی را دچار انحراف میکند. ما ماژول مادون قرمز خود را در دما دقیقاً جایی که دستورالعمل میخواهد قرار میدهیم، که باعث کاهش کار دوباره و افزایش یکنواختی عرض خط میشود. این گرمایش سریع و یکنواخت بعد از تمیز کردن نیز اهمیت دارد. وقتی ویفرها را خشک میکنید، رطوبت را بدون شوک حرارتی حذف میکنید—بدون میکرو پلها، بدون آثار آب. نتیجه این است که تعداد اکتشافات کمتر، یک بودجه حرارتی پایدار و زمان کارکردی که میتواند تولید ۲۴/۷ را مدیریت کند. و از آنجا که انرژی به طور مستقیم و فقط زمانی که دستورالعمل میگوید تأمین میشود، شما انرژی را هدر نمیدهید.
آنچه باید از ابتدا درست انجام دهید
نصب به همخوانی اندازه بخاری و رابط آن با ابزار ریل یا پوششدهنده بستگی دارد—نوع کانکتور، فاصلههای مکانیکی، و تناسب کلی. سیستم بهترین عملکرد را زمانی دارد که محفظه و چاک با تابش مادون قرمز و جرم حرارتی فرآیند مطابقت داشته باشند؛ اگر اینطور نباشد، همگرایی نقطه تنظیم میتواند دچار انحراف شود. برنامهریزی برای بودجه حرارتی در کل توالی—پیشگرم، نگهداشتن، افزایش دما—حائز اهمیت است وگرنه خطر پوستهپوسته شدن فتو رزین وجود دارد. زمانی که به درستی یکپارچه شود، واحد با حداقل نگهداری کار میکند و خروجی یکنواختی را به مدت بیش از ۵۰۰۰ ساعت ارائه میدهد.