در کارخانههای تولید فوتونگست، عملکرد حرارتی مواد فوتوحساس به یک عامل بستگی دارد: دمای محفظه. تغییر ۰.۵ درجه سانتیگراد در دما، میتواند منجر به تغییراتی در ابعاد مهم مواد فوتوحساس شود. نقاط سرد میتوانند باعث مشکلاتی در عملکرد مواد فوتوحساس شوند؛ همچنین، رسوبات نیز میتوانند ایجاد شوند. ما گرمکنهای مخصوصی برای محفظههای شیمیایی طراحی کردهایم تا این نوسانات دمایی را کاهش دهیم.
چه چیزهایی مهم هستند؟
ما از منابع تولید گرما در طول موج متوسط استفاده میکنیم؛ این گرما به صورت تابشی انتقال داده میشود و باعث کاهش مقاومت حرارتی میشود. یکنواختی دما در سراسر محفظه در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین، تکرارپذیری دما در بین دفعات مختلف، در حد ±۰.۰۵ درجه سانتیگراد است. سیستم کنترل، از نوع PID است و دارای دقت ۲۴ بیتی است؛ این سیستم با استفاده از حسگرهای قابل اندازهگیری، کنترل دما را انجام میدهد.
تمام سطوح مورد استفاده، از جنس فولاد ۳۱۶L هستند و هر یک از سیستمهای درزبندی نیز مقاوم در برابر مواد شیمیایی و اسیدها هستند. گرمکنها نیز سازگار با محیطهای پاک هستند و از استانداردهای ISO Class 1–100 پیروی میکنند. تولید ذرات نیز با استفاده از سیستمهای جریان لامینار و فیلترهای نوع HEPA کنترل میشود. تراکم انرژی نیز بسته به حجم محفظه تنظیم میشود؛ این سیستم دارای ولتاژهای ۱۲۰ ولت تا ۴۸۰ ولت، کانکتورهای مطابق با استانداردهای CE، و سیستمهای محافظت در برابر نشت الکتریسیته است.
چرا این سیستم در فرآیند لیتوگرافی موفق عمل میکند؟
در فرآیند لیتوگرافی، این محفظه دمای دقیقی را برای پختن مواد فوتوحساس فراهم میکند؛ هیچ نقطه گرمی وجود ندارد که باعث تشکیل رسوبات شود، و هیچ نقطه سردی نیز وجود ندارد که باعث مشکلاتی در عملکرد مواد فوتوحساس شود. این سیستم باعث ایجاد ضخامت یکنواخت فیلم، کاهش تعداد کارهای تکراری، و کنترل دقیق ابعاد میشود.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا منابع تولید گرما، در صورت نیاز، فعال میشوند. همچنین، میزان اتلاف انرژی در حالت استندبای، کمتر از ۱٪ است. این سیستم برای کار ۲۴ ساعته طراحی شده است؛ عمر مفید آن نیز بیش از ۵۰,۰۰۰ ساعت است. دسترسی برای تعمیرات نیز از طریق پنل جلویی امکانپذیر است؛ بنابراین، زمان توقف عملکرد سیستم به حداقل میرسد.
جزئیات عملی:
این گرمکن نیاز به یک مدار تغذیه مستقل و پایدار دارد. اگر از مواد شیمیایی قوی استفاده میکنید، باید از نیتروژن خشک برای تمیز کردن محفظه استفاده کنید؛ در غیر این صورت، رسوبات میتوانند تشکیل شوند. باید ابعاد محفظه و سیستمهای درزبندی را با ابعاد فضای مورد نظر هماهنگ کرد؛ همچنین، باید در زمان نصب، اندازهگیری دما انجام شود. این کار، نقاط کنترلی لازم را تعیین کرده و یکنواختی دما را تأیید میکند.