روش بهتری برای خشک کردن ویفرهای MEMS: چرا به استفاده از تابش مادون قرمز روی آوردیم؟ بیایید صادق باشیم؛ روش سنتی خشک کردن ویفرها واقعاً پرمشکل است. در...

چرا فاب‌های هوشمند به امواج مادون قرمز نیاز دارند؟ (و چرا روش‌های گرمایش سنتی، کارایی فاب‌های هوشمند را کاهش می‌دهند) اگر قصد ساخت یک فاب هوشمند را...

در مسیر حرکت، زیرلایه با ریتمی ثابت و قابل پیش‌بینی حرکت می‌کند—بی‌صدا و قابل تکرار. فوتورزیست اعمال می‌شود، لبه‌ها پاک‌سازی می‌شوند و ویفر وارد...