دیگر انرژیتان را هدر ندهید: چگونه گرم کردن ویفرها را به درستی انجام دهیم
در کارخانههای تولید نیمههادی، هدررفت انرژی فقط مشکل مربوط به بودجه نیست؛ بلکه یک نقص در طراحی نیز محسوب میشود. وقتی که سعی میکنیم ویفر را گرم کنیم، فقط به «گرمای بیشتر» نیاز نداریم؛ بلکه میخواهیم که این انرژی دقیقاً در همان جایی که باید، تخصیص یابد.
به همین دلیل از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. این بازتابندهها مانع از نفوذ انرژی مادون قرمز به داخل بدنه دستگاه میشوند.
چرا طلا؟
اکثر افراد از آلومینیوم یا فولاد ضدزنگ برای ساخت بازتابندهها استفاده میکنند؛ اما مشکل اینجاست که این مواد اجازه میدهند انرژی زیادی از بین برود. طلا متفاوت است؛ این فلز در بازتاب انرژی مادون قرمز بسیار کارآمد است. به جای اینکه گرما به همه جا پخش شود، لایه طلا آن فوتونها را دوباره به سمت ویفر هدایت میکند. در نتیجه، شدت گرمای وارد شده به ویفر بسیار بیشتر خواهد بود، بدون اینکه نیاز به افزایش ولتاژ یا فشار بر سیستم باشد.
مدیریت گرما
نکته خوب این است که به دلیل کارایی بالای بازتابندهها، میتوانید لامپها را با توان کمتری روشن کنید و همچنان به دمای مورد نظر برسید. فنهای خنککننده نیز نیاز به کار بیشتری نخواهند داشت. علاوه بر این، رشتههای لامپ نیز مدت زمان بیشتری دوام خواهند داشت، زیرا مجبور نیستند تحت فشار زیادی قرار بگیرند.
اما باید مراقب هماهنگی بازتابندهها باشید؛ زیرا انرژی بسیار متمرکز است، حتی اشتباهات کوچک نیز میتواند منجر به ایجاد نقاط گرم شود. همچنین باید کنترلکنندههای PID را نیز بررسی کنید؛ زیرا این بازتابندهها گرما را بسیار سریع افزایش میدهند، پس تنظیمات کنترلکنندهها باید به گونهای باشد که بتواند با این سرعت کنار بیاید.
حفظ عملکرد دستگاه
ما این بازتابندهها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به جای بازتابندههای قدیمی استفاده کرد؛ بدون اینکه نیاز به تغییر در سیستم تأمین انرژی یا سیمکشیها باشد. این کار بسیار ساده است.
فقط یک نکته مهم: طلا مادهای نرم است. اگر تکنسینها از پدهای ساینده برای تمیز کردن آنها استفاده کنند، لایه طلا خراشیده شده و کارایی بازتابندهها کاهش خواهد یافت. اجازه ندهید این اتفاق بیفتد؛ از پارچههای نرم و الکل ایزوپروپیل برای تمیز کردن آنها استفاده کنید. آنها را تمیز نگه دارید؛ زیرا وقتی گرد و غبار روی سطح طلا فرو برود، امواج رادیاتیو مسدود شده و دوباره به نقطه شروع برمیگردیم.