In der Fertigungshalle ist der SRD-Zyklus genau der Bereich, in dem die Qualität der Produkte schnell leiden kann. Eine Lampe, die nur minimal nicht richtig funktioniert, verursacht bereits Probleme – es entstehen „Wassermerkmale“ auf den Wafern, die Anzahl der Partikel steigt an, und gute Materialien werden als Schrott behandelt. Wir haben unsere IR-Lampe so konstruiert, dass sie diese Probleme von vornherein verhindert.
Was wirklich wichtig ist: Die Lampe verwendet Kurzwellen-IR-Emittoren mit Quarzo-Optik, wodurch die Energie direkt in die Spüll- und Trockenphase geleitet wird. Die thermische Gleichmäßigkeit im Inneren der Kammer bleibt dabei bei ±0,1°C – somit erhält jede Wafer denselben Wärmeeinfluss. Änderungen der Einstellwerte erfolgen innerhalb von weniger als 200 Millisekunden – dadurch bleibt eine präzise Kontrolle möglich, ohne dass es zu Übersteigungen kommt.
Die Lampe ist für Reinräume von Klasse 1 bis Klasse 100 geeignet. Der Gehäuserahmen ist dicht abgeschlossen, und der Weg der Strahlung ist so gestaltet, dass keine Partikel freigesetzt werden. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, wobei die Intensität nur um maximal 5% schwankt.
Warum die Lampe in SRD-Einsätzen funktioniert: Bei SRD geht es darum, eine gleichmäßige Trocknung zu erreichen, ohne den Photoresist zu belasten oder die Strukturen auf den Wafern zu schädigen. Die schnelle Reaktion der Lampe sorgt dafür, dass das Temperaturprofil innerhalb der vorgegebenen Grenzen bleibt – dadurch bleibt die Integrität des Photoresists auch nach den Trocknungsprozessen erhalten.
Das Ergebnis sind wiederholbare Trocknungsprozesse, eine geringere Defektdichte sowie weniger Wareneinsätze zur Nachbearbeitung. Der Energieverbrauch sinkt, da die Emittoren schnell ihre Zieltemperatur erreichen und diese konstant halten – dadurch wird keine überschüssige Wärme in die Prozesskammer abgegeben. Auch die Betriebsdauer nimmt zu – der Antrieb ist für 24/7-Betrieb ausgelegt, und die Lampe selbst ist für eine lange Lebensdauer konzipiert.
Die Details, die dazu beitragen, dass die Lampe funktioniert: Die Lampe passt in die Standard-SRD-Gehäuse, doch die Integration muss an die Geometrie der Maschine, den Luftstrom sowie die Strahlungsemission der Wandungen der Kammer angepasst werden. Überprüfen Sie unbedingt die Befestigungsmöglichkeiten sowie die thermische Belastung des Kühlsystems. Wenn die Kühlung nicht richtig funktioniert, kommt es zu Unregelmäßigkeiten in der Temperaturverteilung.
Planen Sie einen kurzen Probelauf, um die Einstellungen an Ihre Wafer sowie die Bedingungen in der Produktionslinie anzupassen.