In der Lithografie-Bereichstechnik ist eine leichte Schwankung der Heiztemperatur ein heimlicher Feind der Produktqualität – man bemerkt sie erst, wenn das CD-SEM Anzeichen von Problemen zeigt. Eine Abweichung von 0,5 °C auf der Waferoberfläche führt dazu, dass die Kontrolle über die kritischen Abmessungen nicht mehr gewährleistet ist. Wir haben unsere Infrarotheizlampen so konstruiert, dass diese Schwankungen bereits an der Quelle eingedämmt werden.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahler mit schnell reagierenden Quarzelementen. Dadurch erfolgt eine schnelle und gezielte Erwärmung der Waferoberfläche. Thermische Verzögerungen sind minimal. Bei der Behandlung des Fotolacks halten wir eine Homogenität der Temperatur auf der Waferoberfläche bei ±0,1 °C aufrecht. Die Genauigkeit der Temperaturregelung liegt dabei bei ±0,5 °C zwischen den verschiedenen Chargen.
Die Leistung der Lampen ist auf die thermischen Anforderungen des Fotolacks abgestimmt – es kommt weder zu Überhitzung noch zu Unterkühlung. Zudem wird die Bildung von Partikeln vollständig vermieden. Die Lampen eignen sich für Reinräume der Klasse 1–100. Das thermische Profil entspricht den internationalen Standards für Halbleiterausrüstung. Es handelt sich dabei um eine Lösung, die bereits in der Praxis erfolgreich erprobt wurde.
Warum das in der Produktion wichtig ist
Dadurch wird eine stabile Qualität der kritischen Abmessungen gewährleistet – das bedeutet weniger Nacharbeiten. Die schnelle Wärmeausbreitung verkürzt den Trocknungszeitraum, ohne dass das Qualitätsprofil beeinträchtigt wird. Dadurch steigt die Durchsatzrate. Zudem wird der Energieverbrauch reduziert, da die Wärme genau dorthin geleitet wird, wo sie benötigt wird – und nicht dazu, die Wände der Kammer zu erwärmen.
Die Zuverlässigkeit der Anlagen ist außergewöhnlich hoch: Die Lampen funktionieren mehr als 5.000 Stunden lang mit weniger als 5% Leistungsabfall. Dadurch kann die Produktion rund um die Uhr weiterlaufen, ohne dass unplanmäßige Unterbrechungen auftreten.
Praktische Details
Die Installation besteht darin, die Abmessungen sowie die Schnittstellen der Lampen an Ihre vorhandenen Anlagen anzupassen. Es sind einige mechanische und elektrische Anpassungen nötig – aber nichts Besonderes. Für die Inbetriebnahme ist nur kurze Zeit erforderlich, um die Temperatureinstellungen an Ihren Fotolack- und Substratkonfigurationen anzupassen. Sobald alles kalibriert ist, bleibt das Qualitätsprofil stabil.