别再等待烤箱升温了：为什么红外加热在晶圆加工中更高效
如果你仍然使用强制对流式加热方式来处理半导体，那其实就是在等待房间里的温度升上来之后才能开始工作。这样的效率实在低得可怜。
空气对流的方式效率低下——首先需要加热空气，然后让空气来加热晶圆。在这个过程中，你不得不一直盯着计时器，等待温度上升。
**而红外加热则完全不同。**红外加热是通过电磁辐射直接作用于晶圆表面，而不是先加热周围的空气。这就好比，与其试图通过加热整个客厅来温暖双手，不如直接把双手放在火炉前。
“等待”的问题
我们都很清楚热惯性带来的困扰——机器正在逐渐升温，但实际上却没有任何变化。
而使用红外传感器和发射器的话，只需几秒时间就能达到目标温度，而非几分钟。这样可以消除生产线上的最大瓶颈，让生产流程更加顺畅。
更小的体积，更高的控制精度
另外，红外加热器的体积也小得多。无需复杂的送风系统或管道，因此可以将其直接放置在晶圆附近，从而获得更高的热量密度。
不过需要注意的是，不能简单地把红外加热器放进去就不管了。高功率的红外加热器会产生大量热量，这些热量可能会影响到机器的其他部件。如果冷却系统不够好，传感器的数值就可能会出现误差，进而需要重新校准所有参数。
提高生产效率
归根结底，采用红外加热方式的好处在于提升生产效率。你不必再为空气流动的问题而烦恼，而是可以使用能够立即产生热量的能量。这样，你就可以节省更多时间来处理晶圆，而不是浪费时间等待环境稳定下来。
这其实是一种简单的交换：放弃缓慢且不可控的对流加热方式，换取即时且可控的加热效果。这样一来，你的工作效率自然会得到提升。