更好的MEMS晶圆干燥方法：为何我们选择红外加热技术
坦白说，传统的晶圆干燥方式实在糟糕至极。那种方式需要使用化学溶剂、重金属，还有各种有害的挥发性有机化合物，这让洁净室看起来更像是一个出了问题的化学实验场所，而非真正的实验室。 我们决定放弃这种做法，转而使用红外加热技术。这种方式更环保、更高效，效果也更好。
其工作原理
大多数人认为，加热干燥就是让空气变热，再让空气去加热晶圆。但实际上，这种方法的效率很低。 而红外加热则不同。它就像在七月的午后站在阳光下一样。红外线灯会直接向晶圆发射电磁辐射，我们调整其频率，使其恰好作用于水分子所在的频率上，从而迅速将表面的水分蒸发掉。 速度非常快——真的很快。 原来需要几分钟才能完成的干燥过程，现在只需几秒钟即可完成。此外，这种设备的体积也更小，因此可以节省更多的空间，同时还能降低电力消耗。
需要克服的难题及解决方案
为了确保完全无毒性，我们使用带有高纯度灯丝的石英灯管。这些灯管在加热时不会释放任何有害物质，这对在车间内工作的人来说无疑是个好消息。 不过，红外加热会在极小的空间内产生大量热量。如果晶圆的厚度不一或材质不同，就可能会出现局部过热的情况。如果不小心处理的话，还可能导致硅片变形。为了解决这个问题，我们使用脉冲电源来控制温度，避免损坏脆弱的MEMS结构。同时，我们还会严格控制传送带的速度以及灯光与晶圆之间的距离，确保一切都在最佳状态。
对工厂的实际影响
如果您仍在使用传统的化学干燥设备，那么转向红外加热技术其实很简单。 最棒的是，您不必再担心如何处理有害废物，也不必花费大量资金来处理溶剂蒸气。这是满足环保要求的同时又不影响生产进度的最佳方案。 而且，使用红外加热后，晶圆的表面会更加干净，不会有那种因传统干燥方式而产生的残留物。