Trong quy trình sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ khoảng 2°C trong quá trình sấy phim quang hóa đã đủ để phá hỏng toàn bộ công việc đang được thực hiện. Những chiếc đèn khử ẩm bằng tia hồng ngoại chính là giải pháp giúp loại bỏ rủi ro này; chúng cung cấp nhiệt độ chính xác tại những vị trí cần thiết – như việc sấy wafer, xử lý phim quang hóa, đóng gói linh kiện, và làm khô các bề mặt cần xử lý. Tất cả những quy trình này đều yêu cầu phải duy trì mức nhiệt độ ổn định.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật Những chiếc đèn này sử dụng nguồn ánh sáng hồng ngoại gần (NIR), giúp việc gia nhiệt diễn ra nhanh chóng và đồng đều, đồng thời cho phép kiểm soát chính xác mức nhiệt. Kết quả là nhiệt độ trên bề mặt wafer được duy trì ở mức ≤±0,1°C, điều này giúp kiểm soát chính xác độ dày của lớp phim quang hóa và tránh tình trạng sản phẩm bị lỗi.
Chúng được thiết kế từ đầu để hoạt động trong môi trường phòng sạch loại 1–100: vật liệu có khả năng giảm tiết khí thấp, các bộ phận được đóng kín bằng thạch anh/halogen, và hệ thống kiểm soát hạt bụi giúp giữ mức bụi ở mức cho phép. Việc không tạo ra bụi bẩn không chỉ là yêu cầu kỹ thuật mà còn là điều kiện bắt buộc trong thiết kế. Hệ thống hoạt động 24/7 với độ tin cậy cao, và nhiệt độ đầu ra vẫn ổn định trong hàng nghìn giờ hoạt động, nhờ đó tránh được tình trạng dừng máy bất ngờ.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong thực tế? Trong quy trình in ấn, cần có quá trình sấy nhẹ để điều chỉnh độ nhớt và khả năng bám dính của lớp phim quang hóa; sau đó mới tiến hành quá trình sấy mạnh để loại bỏ chất dung môi mà không làm hỏng lớp phim quang hóa. Trong quy trình đóng gói, cần phải đảm bảo rằng lớp chất lấp đầy được xử lý nhanh chóng, mà không làm biến dạng cấu trúc linh kiện. Trong quy trình làm sạch và sấy khô, độ ẩm dư thừa là thứ không thể chấp nhận được.
Những chiếc đèn NIR giúp rút ngắn thời gian xử lý, đồng thời giúp duy trì mức nhiệt ổn định. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm xuống vì nhiệt độ được cung cấp theo nhu cầu, chứ không phải do các bộ phận nóng hoạt động liên tục. Độ tái tạo cao giúp giảm thiểu việc phải sửa chữa lại sản phẩm.
Những điều cần lưu ý khi lập kế hoạch Quá trình khử ẩm bằng tia NIR yêu cầu phải có tầm nhìn rõ ràng về bề mặt vật liệu. Hình dạng, độ phản xạ và độ hấp thụ ánh sáng của vật liệu đều ảnh hưởng đến lượng năng lượng được hấp thụ. Do đó, cần phải điều chỉnh công suất đèn và phổ ánh sáng sao cho phù hợp với cấu trúc vật liệu. Diện tích cần chiếu sáng cũng sẽ tăng lên so với các phương pháp sấy thông thường. Cần lập kế hoạch cho hệ thống điện và nhiệt độ phù hợp với môi trường phòng sạch.
Khi hệ thống được điều chỉnh đúng cách, khoảng nhiệt độ cho phép sẽ rất hẹp – và đó chính là điểm mấu chốt của phương pháp này.