Trong quy trình in phẳng, sự biến đổi nhiệt độ trong quá trình sấy khô chính là yếu tố gây giảm hiệu suất sản xuất một cách âm thầm; bạn sẽ không nhận ra điều này cho đến khi máy CD-SEM bắt đầu phát ra tín hiệu báo lỗi. Chỉ cần có sự chênh lệch nhiệt độ 0,5°C trên bề mặt wafer, việc kiểm soát kích thước các chi tiết quan trọng trên wafer sẽ bị ảnh hưởng nghiêm trọng. Chúng tôi đã thiết kế bóng đèn sấy khô bằng tia hồng ngoại để giảm thiểu sự biến đổi nhiệt độ này ngay từ nguồn gốc.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi sử dụng các bóng đèn phát tia hồng ngoại tần số cao, kết hợp với các linh kiện thạch anh có khả năng phản ứng nhanh, nhờ đó việc gia nhiệt diễn ra nhanh chóng và được kiểm soát chặt chẽ. Sự chậm trễ về mặt nhiệt độ gần như không xảy ra. Đối với quy trình sấy khô phim phản quang, chúng tôi duy trì mức độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ diện tích wafer, và độ lặp lại của giá trị nhiệt độ trong các lô sản xuất khác nhau cũng nằm trong khoảng ±0,5°C.
Nhiệt độ được điều chỉnh sao cho phù hợp với yêu cầu nhiệt độ của phim phản quang – không có tình trạng nhiệt độ quá cao hoặc quá thấp – và chúng tôi cũng kiểm soát chặt chẽ việc tạo ra các hạt bẩn trong quá trình sấy khô. Bóng đèn này có thể được sử dụng trong các phòng sạch loại 1–100, và thông số nhiệt độ của nó được kiểm tra theo các tiêu chuẩn quốc tế dành cho thiết bị bán dẫn. Đây là giải pháp dễ áp dụng và đã được chứng minh hiệu quả trong các nhà máy sản xuất.
Tại sao nó lại hữu ích trong sản xuất? Kết quả là chất lượng các chi tiết được sản xuất luôn ổn định, từ đó giảm bớt số lượng sản phẩm cần sửa chữa. Việc gia nhiệt nhanh chóng giúp rút ngắn thời gian sấy khô mà không ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt, vì nhiệt lượng được sử dụng một cách hiệu quả, không lãng phí vào việc làm nóng các bức tường trong buồng sản xuất.
Độ tin cậy của thiết bị này rất cao; các thiết bị này có thể hoạt động liên tục 5.000 giờ trở lên với mức giảm hiệu suất dưới 5%. Nhờ đó, bạn có thể duy trì quy trình sản xuất liên tục mà không cần can thiệp bất ngờ.
Các chi tiết kỹ thuật Việc lắp đặt chỉ đơn giản là điều chỉnh kích thước và giao diện của bóng đèn sao cho phù hợp với hệ thống hiện có của bạn. Có thể cần một chút công sức để tích hợp bóng đèn với hệ thống hiện có, nhưng đó không phải là vấn đề lớn.
Việc khởi động thiết bị chỉ mất một khoảng thời gian ngắn để điều chỉnh các thông số nhiệt độ sao cho phù hợp với loại phim phản quang và vật liệu nền được sử dụng. Một khi đã được điều chỉnh xong, thông số nhiệt độ sẽ được duy trì ổn định.