فیبرکیٹنگ پلانٹ میں، SRD سائیکل کے دوران پیداواری صلاحیت فوراً کم ہو سکتی ہے۔ اگر لیمپ میں تھوڑی سی بھی خرابی ہو جائے، تو اس سے پانی کے داغ پیدا ہوتے ہیں، ذرات کی تعداد بڑھ جاتی ہے، اور اچھے مواد کو بیکار قرار دے دیا جاتا ہے۔ ہم نے اپنے SRD انفراریڈ لیمپ کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ یہ ایسی خرابیوں کو ختم کر سکے۔
اندرونی خصوصیات
یہ لیمپ کوارٹز آپٹکس کے ساتھ کام کرتا ہے، اور توانائی کو براہِ راست رنگنے اور خشک کرنے کے مرحلے میں استعمال کیا جاتا ہے۔ چیمبر کے اندر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، تاکہ ہر ویفر کو یکساں حرارتی ماحول مل سکے۔ سیٹپوائنٹ میں تبدیلی 200 ملی سیکنڈ سے بھی کم وقت میں ہو جاتی ہے، جس سے بغیر کسی غلطی کے بہتر کنٹرول ممکن ہو جاتا ہے۔
یہ لیمپ کلاس 1 سے لے کر کلاس 100 تک کے کلین روموں میں استعمال کیا جا سکتا ہے۔ اس کا ہاؤسنگ حصہ بند ہے، اور ایمیٹر کا راستہ ایسے ہی ڈیزائن کیا گیا ہے کہ اس سے کوئی ذرات باہر نہ نکلیں۔ اس کی کارکردگی 5,000 گھنٹوں تک مستحکم رہتی ہے، اور شدت میں 5% سے بھی کم تغیر ہوتا ہے۔
SRD میں اس کی کارکردگی کی وجوہات
SRD میں، ہم مستقل خشک کرنے کی کوشش کرتے ہیں، بغیر فوٹوریزسٹ کو نقصان پہنچانے یا پیٹرنوں کو خراب کیے۔ لیمپ کی تیز رفتار کارکردگی کی وجہ سے چیمبر کے اندر درجہ حرارت مستقل رہتا ہے، جس سے ریزسٹ کی ساخت برقرار رہتی ہے۔
اس طرح، ہمیں مستقل خشک کرنے کا عمل، کم خرابیاں، اور کم ورک آؤٹ ملتا ہے۔ بجلی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ ایمیٹر جلدی ہی سیٹپوائنٹ تک پہنچ جاتا ہے، اور اس طرح عملیاتی چیمبر میں فضول حرارت نہیں پیدا ہوتی۔ ڈرائیور 24/7 کام کرنے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے، اور لیمپ کی ساخت بھی طویل عرصے تک کام کرنے کے لئے بنائی گئی ہے۔
اس کی کارکردگی کے پیچھے کی وجوہات
یہ لیمپ معیاری SRD فوٹپرنٹس میں فٹ ہوتا ہے، لیکن اس کی انٹیگریشن آپ کے آلات کی ساخت، ہوا کے بہاؤ، اور چیمبر کی دیواروں کی خصوصیات کے مطابق ہونی چاہیے۔ ماؤنٹنگ انٹرفیس اور چلر لوپ پر پڑنے والے حرارتی بوجھ کی جانچ ضرور کریں؛ اگر ٹھنڈک مناسب نہ ہو، تو درجہ حرارت میں تغیر ہو جاتا ہے۔
آپ کو اپنے ویفر اسٹیک اور لائن کی حالتوں کے مطابق اس لیمپ کو ٹھیک کرنے کے لئے کچھ وقت درکار ہوگا۔