فیبریکیشن لیول پر، فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کے دوران 2°C کا فرق بھی پورے عمل کو تباہ کرنے کے لئے کافی ہے۔ سرٹیفائیڈ انفراریڈ کیورنگ لیمپس اس خطرے کو دور کرتے ہیں، اور درست درجہ حرارت فراہم کرتے ہیں – ویفر کو خشک کرنے، فوٹوریزسٹ کو نرم یا سخت کرنے، پیکیجنگ کے دوران استعمال ہونے والے مواد کو خشک کرنے، اور صفائی کے عمل میں بھی درست درجہ حرارت ضروری ہے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
یہ لیمپس نیئر-انفراریڈ (NIR) تکنالوجی پر مبنی ہیں؛ ان کے ذریعہ تیز رفتاری سے حرارت فراہم کی جاتی ہے، اور اسپیکٹرم پر بھی بہتر کنٹرول ہوتا ہے۔ اس طرح ویفر کے مختلف حصوں میں درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، جس سے لائن ویڈتھ پر بہتر کنٹرول حاصل ہوتا ہے، اور پروڈکشن کا معیار برقرار رہتا ہے۔
یہ لیمپس شروع سے ہی کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کے مطابق ہی تیار کئے گئے ہیں؛ کم گیس خارج کرنے والے مواد، سیلڈ کوارٹز/ہیلوجن اجزاء، اور ذرات کو قابو میں رکھنے والے نظام استعمال کئے گئے ہیں۔ ذرات کی عدم پیداوار کوئی اختیاری بات نہیں، بلکہ یہ ڈیزائن کا لازمی تقاضہ ہے۔ یہ سسٹم 24/7 کام کرتا ہے، اور ہزاروں گھنٹوں تک استعمال کے بعد بھی اس کی کارکردگی برقرار رہتی ہے؛ اس طرح غیرمتوقع تعطلات سے بچا جاسکتا ہے۔
عملی طور پر یہ کیوں کارگر ہے؟
لیتھوگرافی میں، پہلے نرم بیکنگ کی ضرورت ہے تاکہ مادہ کی چپچپاہٹ اور چپکنے کی خصوصیات کو کنٹرول کیا جاسکے، پھر سخت بیکنگ کی ضرورت ہے تاکہ حل کو باہر نکالا جاسکے، بغیر ریزسٹ کو نقصان پہنچے۔ پیکیجنگ کے دوران، انڈرفل اور انکیپسولنٹ کو جلدی سے خشک کرنا ضروری ہے، بغیر اسمبلی کو خراب کیے۔ صفائی اور خشک کرنے کے عمل میں، باقی رہنے والی نمی کو بالکل برداشت نہیں کیا جاسکتا۔
ہمارے NIR لیمپس، پروسیس کے وقت کو کم کرتے ہیں، اور درست درجہ حرارت فراہم کرتے ہیں۔ توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، کیونکہ حرارت صرف ضرورت کے وقت ہی فراہم کی جاتی ہے، نہ کہ غیرضروری طور پر۔ اور اس طرح مختلف پروڈکشن لاٹوں میں بھی یکساں کارکردگی حاصل ہوتی ہے، جس سے ورک اور ویسٹ کی مقدار کم ہوتی ہے۔
آپ کو کن حقائق کو مدِ نظر رکھنے کی ضرورت ہے؟
NIR کیورنگ کے لئے روشنی کا راستہ بہت اہم ہے۔ سبسٹریٹ کی ڈھانچہ، عکس بندی کی صلاحیت، اور جذب کرنے کی صلاحیت، یہ سب عوامل حرارت کی مقدار کو متاثر کرتے ہیں۔ اس لئے لیمپ کی طاقت کو مناسب طریقے سے ترتیب دینا ضروری ہے، اور اسپیکٹرم کو بھی مناسب طریقے سے ایڈجسٹ کرنا ضروری ہے۔ کلین روم کے معیارات کے مطابق بجلی اور حرارت کا نظام بھی ضروری ہے۔
جب سسٹم مناسب طریقے سے تیار ہو جاتا ہے، تو پروسیس کا ونڈو بہت تنگ ہو جاتا ہے – اور یہی بات اہم ہے۔