فیب فلور پر، فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کے عمل میں کوئی غلطی برداشت نہیں کی جاسکتی۔ ±1.5°C کی تغیرات سے اہم ابعاد متاثر ہوجاتے ہیں، اور اس سے وقت کی بچت بھی متاثر ہوتی ہے۔ لیمپ شیلڈ، اس حرارتی نظام کو کنٹرول کرنے میں اہم کردار ادا کرتا ہے؛ یہ توانائی کے منبع اور ویفر کے درمیان واقع ہوتا ہے، اور یہ یا تو حرارت کو کنٹرول کرتا ہے، یا پھر حرارتی تغیرات کو باہر جانے دیتا ہے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم فیب لیمپوں کے لئے کوارٹز گلاس شیلڈز تیار کرتے ہیں، اور اس کے لئے دو اہم عوامل کو مدِ نظر رکھا جاتا ہے: درجہ حرارت کی یکسانیت، اور ذرات کا کنٹرول۔ کوارٹز کی ساخت کی وجہ سے، یہ شارٹ-ویو اور میڈیم-ویو انفراریڈ شعاعوں کو بھی منتقل کرنے میں مدد کرتا ہے؛ اس طرح حرارتی پروفائل، فوٹوریزسٹ کی جذب کرنے کی صلاحیت کے مطابق ہوتا ہے۔ اس کی ساخت ایسی ہے کہ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے۔
کلاس 1–100 کے کلین روم میں، جوڑوں کو بند کرکے اور سطحوں کو پالش کرکے مائکرو-رفنس کو کم کیا جاتا ہے؛ اس طرح بیکنگ کے عمل میں کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے۔ اس کے نتیجے میں، ہر بار یکساں نتائج حاصل ہوتے ہیں۔
پیداواری عمل میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
لیتھوگرافی، ٹریکنگ، اور بیکنگ کے آلات 24/7 چلتے رہتے ہیں۔ جب شیلڈ حرارتی پروفائل کو کنٹرول کرتا ہے، تو CD کی قیمتوں میں تغیرات ختم ہوجاتے ہیں۔ اس طرح پروسیس کی یکسانیت بہتر ہوتی ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوجاتی ہے، اور پروسیس ایک مستقل ردھم میں چلتا رہتا ہے۔
شیلڈ، پروسیس کے ضمنی مصنوعات کو لیمپ اور آپٹیکل آلات سے دور رکھتا ہے؛ اس طرح لیمپوں کی مرمت کی ضرورت کم ہوجاتی ہے، اور بے ترتیب بندشیں بھی کم ہوجاتی ہیں۔ عملی طور پر، اس کا مطلب یہ ہے کہ لیمپوں کی تبدیلی کم ہوتی ہے، توانائی کا ضیاع کم ہوتا ہے، اور مرمت کے کاموں کو منصوبہ بند طریقے سے انجام دیا جاسکتا ہے۔
نصب کرتے وقت کن باتوں پر توجہ دینی چاہیے؟
تحمل کی حد بہت کم ہے۔ شیلڈ کو لیمپ کے فوکل ایکسس اور بیکنگ چیمبر کی ساخت کے ساتھ بالکل درست طریقے سے منسلک ہونا ضروری ہے؛ 0.5 ملی میٹر کی بھی غلطی سے کناروں پر تفاوت پیدا ہوسکتا ہے۔ اپنے آلات کے مطابق سائز اور کنکٹر کی سازگاری کو درست کریں، اور مرمتی آلات کی جانچ کے لئے ایک شیڈول بنائیں، تاکہ حرارتی یکسانیت وقت کے ساتھ برقرار رہ سکے۔