ในกระบวนการพิมพ์แบบลิโทกราฟี การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียงครึ่งองศาเซลเซียสระหว่างการอบด้วยวิธีนุ่มหรือวิธีแข็ง ไม่ใช่เรื่องเล็กๆ เลย เพราะจะส่งผลให้คุณภาพของผลิตภัณฑ์ลดลง โครงสร้างของสารเคมีที่ใช้ในการพิมพ์จะเปลี่ยนแปลงไป ทำให้มีข้อผิดพลาดในการวัดขนาดสำคัญๆ และทำให้กระบวนการพิมพ์ไม่สามารถดำเนินไปได้อย่างถูกต้อง ในส่วนของเครื่องอบ/เครื่องล้าง ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิถือเป็นสิ่งสำคัญมาก
ความแม่นยำในการให้ความร้อนด้วยแสงอินฟราเรด: ความสม่ำเสมอในระดับล่างกว่ามิลลิเมตร
เราออกแบบเครื่องอบ/เครื่องล้างโดยใช้ระบบให้ความร้อนด้วยแสงอินฟราเรดแบบคลื่นสั้น ซึ่งช่วยให้มีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับล่างกว่ามิลลิเมตรทั่วพื้นผิวของวงจรรวม ทำให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ความสม่ำเสมอนี้เกิดจากการปรับแต่งระบบอย่างต่อเนื่อง และการควบคุมค่าความสามารถในการแผ่รังสีได้อย่างมั่นคง ดังนั้น การอบในแต่ละครั้งจะมีผลลัพธ์เหมือนกันเสมอ ไม่ว่าจะเป็นการอบครั้งใดก็ตาม สิ่งสำคัญคือการควบคุมอุณหภูมิทั้งหมดที่สารเคมีได้รับ
เหตุใดจึงเหมาะสมกับกระบวนการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์
ในห้องปลอดเชื้อระดับ Class 1–100 การเกิดอนุภาคมีผลกระทบรุนแรงเทียบเท่ากับข้อผิดพลาดในเรื่องอุณหภูมิ เราจึงเลือกใช้วัสดุและรูปแบบของเครื่องอบที่ช่วยลดจำนวนอนุภาค และไม่มีการปล่อยก๊าซที่อาจทำให้วงจรรวมเกิดความเสียหายได้ ระบบนี้ช่วยให้การอบสารเคมีมีความแม่นยำ ทั้งในกรณีการอบด้วยวิธีนุ่มและวิธีแข็ง ช่วยให้ความหนืดของสารเคมี การกำจัดตัวทำละลาย และการยึดเกาะของสารเคมีมีความเสถียร ความเสถียรนี้ช่วยลดเวลาในการทดสอบ และลดของเสียได้
การใช้พลังงานลดลง เพราะแสงอินฟราเรดสามารถถ่ายโอนความร้อนได้โดยตรง ทำให้การอบเกิดขึ้นได้อย่างรวดเร็ว และมีมวลความร้อนที่ต้องจัดการน้อยมาก ความน่าเชื่อถือของระบบนี้สามารถใช้งานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยมีการหยุดบำรุงรักษาน้อย และมีระยะเวลาการเปลี่ยนอุปกรณ์ที่สามารถคาดเดาได้
ข้อควรระวังในการติดตั้ง
การติดตั้งนั้นทำได้ง่ายบนแพลตฟอร์มเครื่องอบ/เครื่องล้างส่วนใหญ่ แต่จุดสัมผัสระหว่างเครื่องอบกับวงจรรวมมีความสำคัญมาก ต้องทำให้จุดสัมผัสมีความสม่ำเสมอ มิฉะนั้น อุณหภูมิที่วงจรรวมได้รับอาจเปลี่ยนแปลงได้ ควรมีการทดสอบระบบเบื้องต้นเพื่อปรับค่า PID และตรวจสอบความสม่ำเสมอของอุณหภูมิสำหรับสารเคมีที่ใช้
ข้อจำกัดหนึ่งคือ ความเข้มของแสงอินฟราเรดต้องสอดคล้องกับมวลความร้อนของวงจรรวมและวัสดุที่ใช้ วัสดุที่มีความหนาน้อยมากหรือวัสดุที่มีคุณสมบัติพิเศษอาจต้องมีการปรับค่าพลังงานให้เหมาะสม เพื่อหลีกเลี่ยงการเกิดความร้อนที่มากเกินไป