ในโรงงานผลิตชิป ประสิทธิภาพในการอบวัสดุโฟโตเรซิสต์นั้นขึ้นอยู่กับปัจจัยเดียวเท่านั้น นั่นก็คืออุณหภูมิภายในตู้อบ การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.5°C ก็สามารถส่งผลต่อคุณภาพของวัสดุโฟโตเรซิสต์ได้แล้ว นอกจากนี้ บริเวณที่มีอุณหภูมิต่ำเกินไปก็จะทำให้วัสดุโฟโตเรซิสต์ไม่สามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้เกิดคราบสกปรกขึ้นมา เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนสำหรับตู้อบให้สามารถควบคุมความแปรปรวนของอุณหภูมิได้
สิ่งที่สำคัญภายในตู้อบ
เราใช้เครื่องปล่อยความร้อนแบบอินฟราเรดความถี่กลางไว้ภายในตู้อบที่มีการกั้นความร้อนด้วยควอตซ์ ความร้อนที่ได้นั้นมีความรวดเร็ว และมีมวลความร้อนน้อยมาก อุณหภูมิภายในตู้อบจะอยู่ในช่วง ±0.1°C และความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิจะอยู่ในช่วง ±0.05°C ระหว่างแต่ละครั้งที่อบ ระบบควบคุมอุณหภูมิเป็นแบบ PID โดยมีความแม่นยำ 24 บิต และมีการปรับแต่งค่าตามเซ็นเซอร์ที่มีความแม่นยำสูง
พื้นผิวทั้งหมดที่สัมผัสกับวัสดุโฟโตเรซิสต์นั้นได้รับการขัดเงาด้วยวัสดุ 316L และส่วนประกอบที่ใช้ในการปิดผนึกก็สามารถทนต่อสารละลายและกรดได้ รูปแบบของเครื่องทำความร้อนนั้นเหมาะสำหรับการใช้ในห้องที่มีมาตรฐาน ISO Class 1–100 การสร้างอนุภาคสกปรกถูกลดลงด้วยการออกแบบระบบการไหลของอากาศแบบแนวเดียว และการใช้ตัวกรอง HEPA ในการกรองอากาศที่ออกมา ความหนาแน่นของพลังงานถูกปรับให้เหมาะสมกับขนาดของตู้อบ โดยมีแรงดันไฟฟ้าตั้งแต่ 120 V ถึง 480 V มีช่องเชื่อมต่อที่เป็นมาตรฐาน CE และมีระบบป้องกันการรั่วไหลของกระแสไฟฟ้าด้วย
เหตุใดเครื่องนี้จึงเหมาะสำหรับการใช้ในกระบวนการผลิตชิป
ในกระบวนการผลิตชิป เครื่องนี้สามารถรักษาอุณหภูมิที่เหมาะสมสำหรับการอบวัสดุโฟโตเรซิสต์ได้ ไม่มีบริเวณที่มีอุณหภูมิสูงเกินไปจนทำให้เกิดคราบสกปรก และไม่มีบริเวณที่มีอุณหภูมิต่ำเกินไปจนทำให้สารละลายไม่สามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้ได้ความหนาของชั้นวัสดุที่สม่ำเสมอ ลดการต้องทำงานซ้ำ และสามารถควบคุมความแม่นยำของขนาดชิปได้ดี
การใช้พลังงานลดลง เนื่องจากเครื่องทำความร้อนจะทำงานเมื่อมีความจำเป็นเท่านั้น และการสูญเสียพลังงานในขณะที่เครื่องไม่ทำงานอยู่นั้นอยู่ที่ระดับต่ำกว่า 1% เครื่องนี้ถูกออกแบบมาให้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยมีอายุการใช้งานมากกว่า 50,000 ชั่วโมง และสามารถเข้าถึงส่วนประกอบต่างๆ ได้ผ่านหน้าปัดควบคุม ทำให้เวลาที่เครื่องหยุดทำงานนั้นน้อยมาก
รายละเอียดทางปฏิบัติ
เครื่องทำความร้อนนี้ต้องการวงจรไฟฟ้าที่มีความเสถียร หากคุณใช้สารเคมีที่มีความรุนแรง ควรใช้ก๊าซไนโตรเจนที่สะอาดและแห้งเพื่อขจัดความชื้นออกไป มิฉะนั้นอาจเกิดความชื้นสะสมขึ้นได้ ควรปรับขนาดของตู้อบและส่วนประกอบที่ใช้ในการปิดผนึกให้เหมาะสมกับขนาดของตู้อบ และควรมีการตรวจสอบอุณหภูมิภายในตู้อบในขณะติดตั้ง เพื่อให้สามารถกำหนดค่าควบคุมอุณหภูมิได้อย่างเหมาะสม และยืนยันความสม่ำเสมอของอุณหภูมิภายในตู้อบได้