ในขั้นตอนการทำความสะอาดหลังการผลิต คุณสามารถทำทุกอย่างได้อย่างถูกต้อง แต่ก็ยังมีโอกาสเกิดปัญหาได้อยู่ หากแผ่นเวเฟอร์แห้งไม่สม่ำเสมอ หรืออุณหภูมิในการอบไม่สม่ำเสมอเช่นกัน ความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิจะส่งผลให้เกิดรอยน้ำ หรือรอยแตกที่ขอบแผ่นเวเฟอร์ เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนด้วยคลื่นอินฟราเรดสำหรับขั้นตอนการทำความสะอาดหลังการผลิต เพื่อป้องกันปัญหาเหล่านี้ โดยมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำตรงบริเวณพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เราใช้คลื่นอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นที่มีการตอบสนองรวดเร็ว และมีการควบคุมสเปกตรัมได้อย่างแม่นยำ ซึ่งเหมาะสมกับวิธีการดูดซับน้ำและสารเคมีโดยแผ่นเวเฟอร์ ทำให้ได้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในช่วง ±0.1°C สำหรับแผ่นเวเฟอร์ที่มีขนาด 150–300 มม. ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในแต่ละครั้งอยู่ที่ ±0.2°C ดังนั้นขั้นตอนการอบที่ต้องการความแม่นยำสูง เช่น การอบแบบอ่อน การอบแบบแข็ง และการทำความสะอาดหลังการผลิต ก็จะอยู่ในช่วงอุณหภูมิที่เหมาะสม แพลตฟอร์มนี้ถูกออกแบบมาสำหรับห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 โดยมีการควบคุมฝุ่นไม่ให้เข้ามาในระหว่างการทำงาน
เหตุผลที่มันได้ผลจริง
ในขั้นตอนการทำความสะอาดหลังการผลิต คลื่นอินฟราเรดสามารถซึมเข้าไปในรอยแตกขนาดเล็กของแผ่นเวเฟอร์ได้ และช่วยขจัดความชื้นออกไปได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่ทำให้เกิดรอยแตกบนพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ ดังนั้นจึงสามารถทำให้แผ่นเวเฟอร์แห้งได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่มีสิ่งสกปรกเหลืออยู่ ในขั้นตอนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ แพลตฟอร์มนี้ยังช่วยควบคุมอุณหภูมิในการอบได้อย่างแม่นยำ ทำให้สามารถกำจัดสารละลายออกได้อย่างมีประสิทธิภาพ จากนั้นก็สามารถเปลี่ยนไปใช้การอบแบบแข็งเพื่อให้แผ่นเวเฟอร์แข็งตัวได้ การเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็วช่วยลดเวลาในการผลิต และการควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำช่วยลดของเสียและการทำงานซ้ำ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็อยู่ในระดับที่เหมาะสม เพราะเราเพียงแค่ทำให้แผ่นเวเฟอร์ร้อนขึ้นเท่านั้น ไม่ใช่ทำให้ห้องปลอดฝุ่นร้อนขึ้น
สิ่งที่ควรวางแผนเมื่อติดตั้ง
คุณต้องจัดการเรื่องอินเทอร์เฟซของเครื่องมือและทางเดินอากาศให้เหมาะสม เพื่อให้ความดันและอุณหภูมิในห้องปลอดฝุ่นอยู่ในระดับที่สม่ำเสมอ เครื่องทำความร้อนนี้ใช้มาตรฐาน SECS/GEM แต่หากคุณต้องการนำมาใช้กับแพลตฟอร์มเก่า คุณจำเป็นต้องมีอุปกรณ์ค้ำยันและขั้นตอนการปรับแต่งเพิ่มเติม ควรมีการทดสอบเบื้องต้นเพื่อตรวจสอบค่าความสามารถในการแผ่รังสีของเครื่องมือ และตรวจสอบความสม่ำเสมอของอุณหภูมิตามสเปคของแผ่นเวเฟอร์ของคุณ