ในโรงงานผลิตชิป การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 2°C ระหว่างขั้นตอนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ก็เพียงพอที่จะทำลายผลงานทั้งหมดได้ แต่หลอดไฟอินฟราเรดที่ได้รับการรับรองคุณภาพจะช่วยขจัดความเสี่ยงนี้ไปได้ โดยสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำในบริเวณที่ต้องการ เช่น การอบให้วัสดุแห้ง การอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ การอบวัสดุปิดผนึก และการทำความสะอาด ทั้งหมดนี้ล้วนต้องอยู่ภายใต้ขอบเขตอุณหภูมิที่กำหนดไว้
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
หลอดไฟเหล่านี้ใช้แหล่งกำเนิดแสงอินฟราเรดใกล้แสงอาทิตย์ (NIR) ซึ่งช่วยให้การให้ความร้อนเกิดขึ้นอย่างรวดเร็ว พร้อมกับการควบคุมสเปกตรัมของแสงได้อย่างแม่นยำ ด้วยเหตุนี้ อุณหภูมิของวัสดุจึงมีความสม่ำเสมอภายในช่วง ±0.1°C ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมความหนาของวัสดุได้อย่างแม่นยำ และช่วยให้ได้ผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพสูง
หลอดไฟเหล่านี้ถูกออกแบบมาสำหรับใช้ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 โดยใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย มีการปิดผนึกอย่างดี และมีระบบควบคุมฝุ่นที่ดี การไม่มีฝุ่นเลยไม่ใช่เรื่องที่สามารถพูดกันได้เท่านั้น แต่เป็นข้อกำหนดในการออกแบบ ระบบนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 และมีความทนทานสูง ดังนั้นจึงไม่มีการหยุดทำงานอย่างไม่คาดคิด
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผลในทางปฏิบัติ
ในกระบวนการผลิตชิป จำเป็นต้องมีขั้นตอนการอบที่ช่วยให้วัสดุมีความหนืดและความสามารถในการยึดเกาะที่ดี จากนั้นจึงต้องมีขั้นตอนการอบอีกครั้งเพื่อขจัดสารละลายออก โดยไม่ทำให้วัสดุเสียหาย ในการบรรจุผลิตภัณฑ์ จำเป็นต้องมีการอบวัสดุปิดผนึกอย่างรวดเร็ว โดยไม่ทำให้วัสดุเสียรูปร่าง ส่วนในการทำความสะอาดและการอบให้วัสดุแห้ง สิ่งที่ไม่สามารถยอมรับได้คือความชื้นที่เหลืออยู่
หลอดไฟ NIR ของเราช่วยลดเวลาในการทำงาน พร้อมกับช่วยให้กระบวนการดำเนินไปอยู่ในขอบเขตที่กำหนดไว้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะความร้อนถูกส่งไปตามที่ต้องการ ไม่มีการสูญเสียพลังงานไปกับการใช้พลังงานที่ไม่จำเป็น นอกจากนี้ ความสามารถในการทำซ้ำก็ดีขึ้น ทำให้ไม่มีการต้องทำงานซ้ำหรือทิ้งวัสดุที่ไม่มีคุณภาพ
สิ่งที่คุณต้องคำนึงถึงในการวางแผน
การอบด้วยแสงอินฟราเรดนั้นต้องมีการมองเห็นที่ชัดเจน รูปร่างของวัสดุ ความสามารถในการสะท้อนและการดูดกลืนแสง ล้วนมีผลต่อปริมาณพลังงานที่ถูกดูดกลืน ดังนั้นเราจึงต้องปรับขนาดของหลอดไฟและสเปกตรัมของแสงให้เหมาะสมกับวัสดุที่ใช้ คาดว่าจะมีขนาดที่ใหญ่ขึ้นเล็กน้อยเมื่อเทียบกับหลอดไฟแบบปกติ เพื่อให้สามารถครอบคลุมวัสดุได้ทั้งหมด นอกจากนี้ ยังต้องมีการวางแผนด้านระบบไฟฟ้าและระบบควบคุมอุณหภูมิให้เหมาะสมด้วย
เมื่อระบบถูกปรับให้เหมาะสมแล้ว ขอบเขตของกระบวนการก็จะแคบลง และนั่นคือสิ่งที่เราต้องการจริงๆ