На производственном участке цикл SRD может привести к значительным потерям качества продукции. Даже незначительные неисправности лампы приводят к появлению следов на поверхности пластин, увеличению количества частиц и превращению качественного материала в отходы. Мы разработали инфракрасную лампу SRD для устранения таких проблем.
Что действительно важно Лампа использует коротковолновые инфракрасные излучатели с кварцевыми элементами, что позволяет направлять энергию непосредственно в фазы промывки и сушки. Температурный режим в камере остается стабильным в пределах ±0,1°C, что обеспечивает одинаковое тепловое воздействие на каждую пластину. Изменение параметров происходит за менее чем 200 мс, что позволяет точно контролировать процесс без выхода за заданные значения.
Лампа подходит для использования в чистых помещениях от класса 1 до класса 100. Корпус лампы герметичен, а конструкция излучателя такова, что он не выделяет частиц. Работа лампы стабильна в течение более 5 000 часов, при этом изменение интенсивности излучения не превышает 5%.
Почему лампа эффективна в процессе SRD В процессе SRD необходимо обеспечить равномерную сушку без негативного влияния на фоторезист или повреждения структуры пластин. Благодаря быстрому регулированию температуры лампа сохраняет нужные параметры, что позволяет сохранить целостность фоторезиста после процедур сушки.
Это приводит к более стабильной сушке, снижению количества дефектов и уменьшению количества необходимой доработки. Потребление энергии снижается, поскольку лампа быстро достигает заданных параметров и поддерживает их стабильно, что позволяет избежать лишнего тепла в камере. Также увеличивается время работы лампы – её драйвер рассчитан на круглосуточную работу, а сама лампа предназначена для длительного использования.
Детали, обеспечивающие эффективность лампы Лампа соответствует стандартным размерам для использования в процессе SRD. Однако её интеграция должна соответствовать геометрии оборудования, распределению воздушного потока и свойствам стенок камеры. Необходимо тщательно проверить интерфейс крепления и тепловую нагрузку на систему охлаждения; если охлаждение не работает должным образом, температурный режим может изменяться.
Необходимо провести тестовый запуск лампы, чтобы точно определить параметры её работы в зависимости от условий производства.