На производственном участке достаточно изменения температуры на 2°C во время процесса высушивания фотополимера, чтобы все усилия по производству пошли насмарку. Специальные инфракрасные лампы исключают такой риск, обеспечивая точное нагревание в нужных местах – для высушивания пластин, обработки фотополимера, загерметизации изделий и удаления остатков влаги. Все эти процессы требуют строгого контроля за температурными параметрами.
Что имеет значение с технической точки зрения
Эти лампы используют источники ближнего инфракрасного излучения; они позволяют быстро и равномерно нагревать поверхность, при этом обеспечивается строгий контроль над спектром излучения. Благодаря этому температура на поверхности пластины остается стабильной в пределах ±0,1°C. Это позволяет точно контролировать параметры процесса и предотвращает снижение качества продукции.
Лампы разработаны для использования в чистых комнатах класса 1–100: используются материалы с минимальным выделением газов, герметичные кварцевые/галогеновые элементы, а также системы контроля за количеством частиц в воздухе. Отсутствие частиц является не просто желательным условием, а обязательным требованием конструкции. Система работает круглосуточно с высоким коэффициентом надежности; ее производительность остается стабильной в течение тысяч часов работы, что исключает неplanned простои.
Почему это работает на практике
В процессе литографии необходимо сначала произвести мягкую обработку для установления правильных параметров вязкости и адгезии фотополимера, а затем – жесткую обработку для удаления растворителей без повреждения самого фотополимера. При упаковке необходимо быстро завершить процесс загерметизации, чтобы изделие не деформировалось. А при очистке и высушивании недопустима наличие остатков влаги.
Наші лампы с ближним инфракрасным излучением сокращают время выполнения процесса, при этом сохраняя стабильные условия производства. Использование энергии сокращается, поскольку нагрев происходит только тогда, когда это необходимо. Кроме того, повторяемость процесса обеспечивается, что снижает количество бракованных изделий.
Какие факторы необходимо учитывать при планировании
Процесс высыхания с использованием ближнего инфракрасного излучения требует прямого видимого света. Геометрия подложки, ее отражательные и поглощающие свойства влияют на количество поглощаемой энергии. Поэтому необходимо правильно выбирать мощность ламп и настраивать спектральный профиль в соответствии с характеристиками материалов, используемых в процессе. Ожидается некоторое увеличение размеров ламп по сравнению с обычными нагревательными панелями, но это необходимо для полного покрытия поверхности пластины. Также необходимо учитывать требования к электрической и тепловой интеграции в чистой комнате.
Как только система настроена правильно, диапазон параметров процесса становится очень узким – и это именно то, что и нужно.