На этапе послеочистки можно выполнять все необходимые действия, вплоть до процедуры сушки, но при этом все равно может возникнуть проблема с качеством изделия, если пластина высыхает неравномерно или температура сушки меняется. Неравномерность температуры проявляется в виде следов от воды, появления корок на поверхности пластины и других дефектов. Мы разработали инфракрасные нагреватели для использования на этапе послеочистки, чтобы устранить эти проблемы. Такой подход обеспечивает точный контроль температуры прямо на поверхности пластины.
Что имеет техническое значение Мы используем инфракрасное излучение короткой длины волны с быстрой скоростью реагирования и точным спектральным контролем. Это позволяет достичь однородности температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C для подложек размером 150–300 мм. Повторяемость температуры составляет ±0,2°C, что позволяет осуществлять процедуры сушки без каких-либо отклонений. Платформа предназначена для использования в чистых комнатах класса 1–100; ее конструкция позволяет минимизировать количество частиц в воздухе во время работы.
Почему это работает на практике На этапе послеочистки инфракрасное излучение проникает в микроструктуры пластины и удаляет влагу без образования корок. Это позволяет добиться мгновенной сушки без остатка влаги. В процессе литографии такая же платформа помогает поддерживать стабильную температуру во время процедуры сушки, что позволяет получать однородную структуру пленки. Затем можно перейти к процедуре твердой сушки для полного затвердевания пленки. Быстрый нагрев сокращает время выполнения процедур, а точное управление температурой снижает количество бракованных изделий и необходимости их переработки. Энергопотребление также остается на разумном уровне – нагревается сама пластина, а не весь камерный объем.
Что нужно учитывать при установке Необходимо правильно расположить интерфейсы устройства и каналы вывода воздуха, чтобы давление и температура в чистой комнате оставались стабильными. Нагреватели работают по стандарту SECS/GEM, но если их устанавливают на старую платформу, потребуются специальные крепления и процедуры калибровки. Лучше провести краткий тестовый запуск, чтобы определить коэффициент излучения и проверить однородность температуры на вашей конкретной пластине.