IRランプによって製品が台無しになるのを防ぎましょう。 大量の半導体を生産している場合、IRランプが破損するという最悪の事態を想像してみてください。単にヒーターが壊れるだけではありません。問題は、ガラス片や金属粉が飛び散り、ワークが台無しになってしまうことです。これにより、一括で多くのウェーハが廃...

ファブ内では、工具の修理は予定を立てて行うものではありません。ラインが止まらないように、急いで対処する必要があります。コーティング装置やアニールモジュール、プローブステーションのヒーターが故障した場合、迅速に温度を回復させ、均一な温度を維持しなければなりません。また、粒子が発生しないようにしなけれ...