IRランプによって製品が台無しになるのを防ぎましょう。
大量の半導体を生産している場合、IRランプが破損するという最悪の事態を想像してみてください。単にヒーターが壊れるだけではありません。問題は、ガラス片や金属粉が飛び散り、ワークが台無しになってしまうことです。これにより、一括で多くのウェーハが廃棄されてしまいます。本当に厄介で、コストもかかります。実際、これは避けられる問題です。
そのため、私たちは「最悪の事態」を想定してランプを設計しています。
破片を内部に留める
私たちは、単にガラスが耐えられることを願うだけではありません。二重構造を採用しています。確かに、石英管自体は熱衝撃に耐えられるように作られていますが、それだけでは不十分です。
ランプを保護用のカバーで包みます。これはまるでセーフティネットのようなものです。もしランプが熱サイクル中に割れたり燃え尽きたりした場合、カバーが破片を受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハは汚染されずに済みます。
熱の管理
高純度の石英を使用することで、加熱時に不要なガスが発生するのを防ぎます。また、フィラメントの位置にも工夫を凝らしています。位置を最適化することで、管壁に発生する過熱部分をなくします。過熱部分がないおかげで、亀裂が発生するリスクも低くなります。
ただし、一つだけ注意点があります：ランプに過剰な電圧をかけないこと。時間を少し短縮するために電力を上げるのは魅力的ですが、それによってランプが破損するリスクが高まります。定格値を守ってください。
妥協点
完璧なものはありません。保護カバーを使うと、IR光の透過率が少し下がります。つまり、裸のランプと比べて100％の熱を得ることはできません。
しかし、私にとっては、安心感を得るための妥協点だと思います。PID設定を調整すれば、目標とする温度上昇速度を達成できます。そうすれば、ガラスが爆発して製品が台無しになる心配もありません。