ウェーハの処理において、無駄に電力を消費することは避けましょう。正直言って、ウェーハの処理においては、無駄に消費される1ワットごとが、予算の無駄遣いに他なりません。IRエミッターを使う際には、そのエネルギーがウェーハに届くようにしなければなりません。周囲の空気を加熱してしまっては意味がありません。...

オーブンを待つのはやめよう：ウェーハ処理においてIR加熱が優れている理由 もしまだ半導体処理に強制送風方式を使っているのであれば、実際に作業を始める前に部屋全体が温まるのを待たなければなりません。これは非常に非効率的です。 空気対流方式は単純に非効率的です。まず空気を温め、その後でその空気がウェー...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業を行っている人なら、どれだけ大変かご存知でしょう。ほんの少しのほこりや、加熱時に発生する奇妙な化学物質の匂いだけで、一度に大量の製品が台無しになってしまいます。本当にイライラしますよね。 ほとんどの赤外線ランプは、こ...

ファブラボでは、フォトレジストの焼成は、絶対に見過ごしてはならない重要なプロセスです。ソフトベイクやハードベイク時の温度が2℃変動すれば、ウェハの寸法に影響が出てしまい、その結果、生産が止まってしまいます。そこで、私たちはこの石英製のスリーブを開発しました。これにより、一回の焼成処理から次の焼成処...