מחמם לארון כימיקלים של Fab

בחדר הייצור, איכות חימום החומר הפוטורזיסטיבי תלויה בדבר אחד בלבד: טמפרטורת התא. שינוי של 0.5°C יגרום לשינוי בממדים החשובים של החומר. אזורים קרים...