בחדר הייצור, איכות חימום החומר הפוטורזיסטיבי תלויה בדבר אחד בלבד: טמפרטורת התא. שינוי של 0.5°C יגרום לשינוי בממדים החשובים של החומר. אזורים קרים עלולים לפגוע בחומר הפוטורזיסטיבי, מה שעלול לגרום לבעיות בתהליך הייצור. ייצרנו מערכת חימום מיוחדת שנועדה להפחית את השינויים בטמפרטורה.
מה חשוב בתהליך החימום? אנו משתמשים בגופי חימום באור עין אדום באורך גל בינוני, הממוקמים בתוך תא מבודד באמצעות קוורץ. זהו חימום קרינתי, מהיר, עם מסה תרמית מינימלית. הטמפרטורה בתוך התא נשארת יציבה בטווח של ±0.1°C, והשגרתיות של החימום נשארת בטווח של ±0.05°C בין סידרות הייצור השונות. מערכת הבקרה היא מסוג PID, עם רזולוציה של 24 ביטים, והיא מותאמת לחיישנים מדויקים.
כל המשטחים הרטובים עוברים עיבוד אלקטרופוליש, וכל החוסמים עמידים בפני חומרים כימיים וחומצות. מערכת החימום מתאימה לחדרי ייצור נקיים, ותומכת בתקני ISO Class 1–100. ייצור החלקיקים מופחת באמצעות עיצוב זרימה למינרלית וסינון ברמת HEPA בצינורות הפליטה. צפיפות האנרגיה מותאמת לנפח התא, עם אפשרויות חשמול של 120 V עד 480 V, חיבורים תואמי CE, והגנה מפני דליפות חשמל.
למה זה עובד טוב בתהליך הליתוגרפיה? בתהליך הליתוגרפיה, התא משמור על הטמפרטורה המדויקת הנדרשת לחימום החומר הפוטורזיסטיבי. אין אזורים חמים שעלולים לגרום לבעיות, ואין אזורים קרים שעלולים לפגוע בחומרים הכימיים. כך ניתן להשיג עובי אחיד של השכבה, פחות צורך בתיקונים, ושליטה טובה יותר בממדים של החומר.
שימוש האנרגיה פוחת, מכיוון שגופי החימום פועלים רק כשצריך, וההפסדים במצב של חוסר פעילות נמוכים מ-1%. המערכת מיועדת לפעולה 24/7, עם זמן שירות של יותר מ-50,000 שעות, וניתן לגשת לחלקים השונים של המערכת דרך החזית, כך שזמן העצירה מינימלי.
כאן הפרטים המעשיים: המערכת דורשת מעגל חשמלי נפרד ויציב. אם אתם משתמשים בחומרים כימיים אגרסיביים, יש לבצע ניקוי באמצעות חנקן יבש – אחרת עלולים להיווצר קריסטלים, והטמפרטורה עלולה להשתנות. יש להתאים את מידות התא ואת החוסמים למידות המערכת, ויש לבצע בדיקת טמפרטורה במהלך ההתקנה. זה יאפשר לקבוע את נקודות הבקרה הנכונות ולוודא שהטמפרטורה אחידה בכל האזורים.