דרך טובה יותר לייבוש שבבי MEMS: מדוע עברנו לשימוש בחום אינפרא-אדום
בואו נהיה כנים – ייבוש שבבים בשיטות המסורתיות הוא עניין מסובך. צריך להתמודד עם חומרים כימיים, מתכות כבדות, וגם עם חומרים מזהמים שגורמים לכך שחדר העבודה נראה יותר כמו מעבדה שנכשלה בניסוייה מאשר כמקום עבודה נקי.
החלטנו להיפטר מכל זה. עכשיו אנו משתמשים בחום אינפרא-אדום. זו שיטה נקייה יותר, ידידותית יותר לסביבה, והיא גם יעילה יותר.
כיצד זה עובד בפועל
רוב האנשים חושבים על תנורים, שבהם מחממים את האוויר, ומקווים שהאוויר יחמם את השבב. זה איטי מאוד.
אינפרא-אדום שונה. זה כמו לעמוד בשמש באחר הצהריים של חודש יולי. הפנסים שולחים קרינה אלקטרומגנטית ישירות אל השבב. אנו מתאימים את התדר של הקרינה כך שהוא יפגע במולקולות המים, ובכך להסיר את הלחות מהשטח של השבב.
זה מהיר מאוד.
החסרונות וכיצד אנו מתמודדים איתם
כדי שהתהליך יהיה ללא חומרים מזהמים, אנו משתמשים בפנסים עם חוטים בעלי טוהר גבוה. פנסים אלו אינם פולטים רעלים כאשר הם מתחממים, מה שמאפשר עבודה בסביבה נקייה יותר.
אך יש בעיה: אינפרא-אדום יוצר הרבה חום בשטח קטן מאוד. אם השבבים בעלי עובי שונה או עשויים מחומרים שונים, עלולים להיווצר “נקודות חמות”. אם לא נהיה זהירים, הסיליקון עלול להינזק. כדי למנוע זאת, אנו משתמשים במקורות כוח פולסטיים, ואנו מוודאים שמהירות ההעברה של השבבים ומרחק הפנסים מהשבבים יהיו מתאימים.
מה זה אומר עבור חדר העבודה
אם עדיין משתמשים בשיטות ייבוש כימיות מסורתיות, המעבר לשימוש בחום אינפרא-אדום הוא די פשוט.
היתרון הגדול? אין צורך לדאוג לטיפול בפסולת מסוכנת או להשקיע הרבה כסף במערכות אוורור. זו הדרך הקלה ביותר לעמוד בדרישות הסביבתיות, מבלי להאט את קצב הייצור.
והתוצאות טובות יותר – אין עוד סימני לחות על השבבים. השבבים יוצאים נקיים.