בשלב הניקוי, ניתן לעשות הכל – עד כדי ייבוש הוואפר – אך עדיין עלולה להיות בעיה של חוסר אחידות בייבוש, אם הוואפר לא מתייבש באופן אחיד או אם טמפרטורת הייבוש אינה יציבה. חוסר אחידות בטמפרטורה גורם לבעיות כמו סימני מים על פני הוואפר, וכן לבעיות בשוליו. ייצרנו מחממי אינפרא-אדום לאחר הניקוי, כדי למנוע בעיות אלו, ולאפשר שליטה טובה בטמפרטורה דווקא על פני הוואפר.
מה חשוב מבחינה טכנית
אנו משתמשים באינפרא-אדום בגלים קצרים, עם תגובה מהירה ושליטה דיוקית בספקטרום האור. זה מאפשר אחידות בטמפרטורה ברמה של ±0.1°C על שטחי וואפר בגודל 150–300 ממ. הדיוק בטמפרטורה נשמר ברמה של ±0.2°C בין כל פעולות הייבוש, כך שהשלבים שדורשים רמת טמפרטורה קבועה – כמו ייבוש רך או קשה – יישארו בתוך הטווח הנדרש. המערכת מיועדת לשימוש בחדרי ניקיון מסוג 1–100, עם עיצוב שמונע הצטברות של חלקיקים במהלך הפעולה.
למה זה עובד בפועל
בשלב הניקוי, האינפרא-אדום חודר לתוך המבנים הזעירים שעל פני הוואפר ומסיר את הלחות, בלי לגרום לנזק לוואפר. בתהליך הליתוגרפיה, אותה מערכת מאפשרת שליטה על טמפרטורת הייבוש, כך שניתן להשיג ניקוי אחיד של הוואפר. לאחר מכן ניתן לעבור לייבוש בטמפרטורה גבוהה יותר, כדי לאפשר ייבוש מלא של הוואפר. התגובה המהירה של המערכת מקצרת את זמן העיבוד, והשליטה הדיוקית מפחיתה את כמות הבעיות והעבודה החוזרת. צריכת האנרגיה נשארת סבירה – הוואפר הוא זה שמתחמם, ולא כל החדר.
מה צריך לתכנן בעת ההתקנה
יש לוודא שממשק הכלים ומסלולי האוורור יהיו נכונים, כדי שהלחץ והטמפרטורה בחדר הניקיון יישארו יציבים. המחממים פועלים לפי התקן SECS/GEM, אך אם משתמשים בהם במערכות ישנות, יהיה צורך במסגרות מיוחדות ובנהלי כיול. יש לתכנן בדיקות קצרות כדי לוודא את רמת האחידות של הטמפרטורה, בהתאם לסוג הוואפר.